泰克Keithley 6400 系列皮安表經(jīng)濟實(shí)惠的 5? 位 6485 型皮安表可以測量 10fA 至 20mA 的電流，速度高達每秒 1000 個(gè)讀數。6487 型皮安表/電壓提供比 6485 更高的精度和更快的上升時(shí)間、一個(gè) 500V 源以及一種與電容設備配合使用的阻尼功能。6482 型雙通道皮安表/電壓源提供比 6485 型或 6487 型更高的測量分辨率和雙獨立 30V 電壓偏置源。 特
泰克Keithley 6400 系列皮安表
經(jīng)濟實(shí)惠的 5? 位 6485 型皮安表可以測量 10fA 至 20mA 的電流，速度高達每秒 1000 個(gè)讀數。6487 型皮安表/電壓提供比 6485 更高的精度和更快的上升時(shí)間、一個(gè) 500V 源以及一種與電容設備配合使用的阻尼功能。6482 型雙通道皮安表/電壓源提供比 6485 型或 6487 型更高的測量分辨率和雙獨立 30V 電壓偏置源。?
特點(diǎn) | 優(yōu)勢 |
| 電流分辨率低至 1fA (6482) | 可測量元器件中的超低漏電流、光學(xué)器件中的暗電流以及顯微儀器中的射束電流。 |
| 輸入端壓降低至 200μV | 可以進(jìn)行高精度電流測量，即使在源電壓非常低的電路中也可以測量。 |
| 雙通道測量 (6482) | 簡(jiǎn)化了分析多通道設備、監視材料上多個(gè)位置的電流以及一次性記錄來(lái)自多個(gè)傳感器的數據的過(guò)程。 |
| 有 0、1 或 2 個(gè)內置電壓源可供選擇 | 確保您可以找到適合應用要求的電壓偏置功能。 在 6487 型皮安表/電壓源中通過(guò) 500V 源進(jìn)行絕緣電阻測試。 |
| 內置模擬輸出 | 允許將測量結果傳輸到數字萬(wàn)用表、數據采集卡、示波器或帶形圖紙記錄儀等設備，以進(jìn)行信號響應和趨勢分析。 |
| 測量高達 20mA 的電流 | 支持測量高電流，比如測量 4-20mA 傳感器回路。 |
| 最高每秒 1,000 個(gè)讀數 | 支持高吞吐量生產(chǎn)測試需求。 |
| 內置觸發(fā)鏈路接口 | 簡(jiǎn)化了通過(guò)將六個(gè)獨立可選的觸發(fā)線(xiàn)路結合在一個(gè)單一的連接器上，對系統中的所有儀器進(jìn)行簡(jiǎn)單、直接的控制，從而實(shí)現與其他儀器和電壓源同步的過(guò)程。 |
6482型雙通道皮安表/電壓源提供兩個(gè) 獨立的皮安表/電壓源通道，適合需要雙通 道測量的多種低電平測量應用。該產(chǎn)品在 測量能力已被證明的吉時(shí)利6485型5位半皮 安表的基礎上，提高了測量分辨率，增加 了一個(gè)第二測量通道以及兩個(gè)獨立的30V電 壓偏置源。
由于具有雙通道測量能力，6482型雙 通道皮安表/電壓源成為一個(gè)強大的測量 工具，適合分析多通道器件，監控材料中 多個(gè)位置的電流，并立即記錄來(lái)自多傳感 器的數據。雙通道能力更容易實(shí)現控制和 數據聚集。更高的通道密度增加了受限空 間內的儀器數量（和通道）。
主要特點(diǎn):
雙通道6位半測量能力
雙±30V偏置電源
測量電流高達20mA
測量電流分辨率1fA
0–10V模擬輸出用于高分辨率 測量反饋
支持裝配工藝、最終測試、部件 binning和技術(shù)規范
每通道具3000點(diǎn)緩存，支持測試 完成后數據發(fā)送
觸發(fā)連接，用于器件進(jìn)倉與掃描 測試操作
IEEE-488與RS-232接口
應用
制造元器件測試
雙二極管測試
半導體器件測試
多引腳器件測試
離子束監測
電子顯微鏡
與吉時(shí)利絕大部分儀器一樣，對于6482型雙通道皮安表/電壓源的電流和電壓 極限限幅，可以進(jìn)行編程，以確保關(guān)鍵點(diǎn)（如測試開(kāi)始）期間的器件保護。這些儀 器還提供均值與中值濾波器，可以用于將數據存儲在緩存中。
6482型雙通道皮安表/電壓源可以在兩個(gè)完全隔離的通道之間提供比例測量或 σ測量。通過(guò)前面板或GPIB接口可以接入這些功能。對于包括多個(gè)探頭的測試設 置，這個(gè)功能支持目標控制能力。
? 按比例的電壓模擬輸出。此輸出允許6482型皮安表將測量結果發(fā)送至數字多用 表（DMM）、數據采集板、示波器或長(cháng)圖記錄儀等設備。
? 220V過(guò)載保護。高負載保護和堅固設計能讓6482型皮安表耐受過(guò)量溢出。
? 一鍵式前面板設計。按一次按鈕就能輕松配置功能，無(wú)需復雜的功能菜單。
? 內建觸發(fā)鏈路接口。觸發(fā)鏈路接口簡(jiǎn)化了6482型皮安表與其它儀器及電壓源的 同步。此接口在單個(gè)連接器上結合了6種單獨可選的觸發(fā)線(xiàn)路，以實(shí)現輕松、 直接地控制系統中的全部?jì)x器。
? RS-232和IEEE-488接口。這些接口能輕松將6482型皮安表集成進(jìn)自動(dòng)測試和測 量系統中。
? 顯示on/off開(kāi)關(guān)。對于光敏器件的研究，如測量光電二極管的暗電流，可以關(guān) 閉前面板顯示，以防引入光線(xiàn)而導致測量結果準確性大幅降低。
? REL和LOG功能。6482型皮安表能針對基線(xiàn)值進(jìn)行相對讀數，或者顯示測量電流 絕對值的對數。
? 后面板三同軸輸入。三同軸輸入確保最優(yōu)的噪聲保護。其包括的Triax-BNC適 配器，允許在不太介意噪聲的現場(chǎng)部署便宜易用的BNC電纜。
本文介紹了6482型雙通道皮安表/電壓源的技術(shù)指標和補充說(shuō)明。這些技術(shù)指標是測試6482型雙通道皮安表/ 電壓源依據的標準。在出廠(chǎng)時(shí)，6482型雙通道皮安表/電壓源符合這些技術(shù)指標。補充說(shuō)明和典型值不在質(zhì)保范 圍內，適用于23°C，僅用作有效信息。
精確技術(shù)指標適用于普通模式和高電容模式。
6482型儀表提供兩個(gè)獨立的皮安表/電壓源通道，適合多種測量應用。在6482型儀表的背板上包括每個(gè)通道 的模擬輸出插孔。
這些源和測量精度在下列條件下適用于6482型終端。
1. 23°C ±5°C，相對濕度<70%
2. 經(jīng)過(guò)1小時(shí)的預熱
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 啟用A/D自動(dòng)調零
5. 歸零局部操作
6. 校準周期=1年
| 量程 | 最高分辨率 | 精度 1, 2 23° ±5°C ±(% rdg +補償) | 溫度系數 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 補償)/°C | 直流輸入 阻抗 3 （最大值） |
| 2.000000 nA | 1 fA | 1.00% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 20.00000 nA | 10 fA | 0.40% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 200.0000 nA | 100 fA | 0.30% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 2.000000 μA | 1 pA | 0.20% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 20.00000 μA | 10 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 200.0000 μA | 100 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 2.000000 mA | 1 nA | 0.10% + 2 μA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
| 20.00000 mA | 10 nA20.00000 mA | 0.10% + 2 μA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
| 量程 | 分辨率 | 精度 23°C ±5°C | 最大電流 | 負載調整率4 | 溫度系數 |
| ±10 V | <400 μV | ±(設置的0.15% + 5 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 150 ppm/°C |
| ±30 V | <4 mV | ±(設置的0.3% + 50 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 300 ppm/°C |
輸出電壓量程(輸出是反相的) 2: 對于正滿(mǎn)量程輸入，電壓輸出量程為–10V；對于負滿(mǎn)量程輸入，電壓輸出 量程為+10V。
輸出阻抗: 1kΩ（典型值）
| 量程 | 精度 23° ±5°C ±(% rdg +補償) | 溫度系數 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 補償)/°C | 典型上升時(shí)間 (10% to 90%) |
| 2.000000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 7 mV | 6.1 ms |
| 20.00000 nA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 700 μV | 6.1 ms |
| 200.0000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 395 μs |
| 2.000000 μA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 400 μV | 395 μs |
| 20.00000 μA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 135 μs |
| 200.0000 μA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 μV | 135 μs |
| 2.000000 mA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 21 μs |
| 20.00000 mA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 μV | 21 μs |
| 典型本底噪聲 RMS (1 STDEV), 100個(gè)樣本 | ||||
| 量程 | 0.01 NPLC | 0.1 NPLC | 1.0 NPLC | 10 NPLC |
| 2.000000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 20.00000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 200.0000 nA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 2.000000 μA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 20.00000 μA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 200.0000 μA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 2.000000 mA | 2 μA | 1.5 μA | 25 nA | 5 nA |
| 20.00000 mA | 2 μA | 1.5 μA | 25 nA | 5 nA |
| 讀數/秒 | ||||
| 分辨率 | GPIB(SCPI) | GPIB(488.1) | NPLC | NMRR |
| 4位半 | 700 | 900 | 0.01 | — |
| 5位半 | 60 | 475 | 0.1 | — |
| 6位半 | 58 | 58 | 1 | 60 dB |
源電容：穩定至10.0nF (典型值)。
輸入偏置電流5：50fA（最大值）@ 23°C。
輸入電壓負擔6：4.0mV（最大值）。
電壓源斜率：3.0ms/V (典型值)。
共模電壓：200VDC。
共模隔離度：典型值109Ω并聯(lián)150nF。
過(guò)量程：測量量程的105%。
內存緩沖：6000讀數 (2個(gè)3000點(diǎn)緩存)。包括 選定的測量值和時(shí)標。
可編程性：IEEE-488.2, RS-232, 用戶(hù)定義的5個(gè) 上電狀態(tài)，外加工廠(chǎng)默認設置和*RST。
輸出啟動(dòng)接頭：
輸出啟動(dòng)：有源低輸入。
輸入線(xiàn)：SOT (測試開(kāi)始) 觸發(fā)輸入。
電源：100V, 120V, 220V, 240V (±10%), 50Hz 或60Hz, 50VA（最大值）。
保質(zhì)期：1年。
EMC：符合歐盟電磁兼容（EMC）指令。
震動(dòng)：MIL-T-28800F random class 3。
安全性：符合歐盟低壓電器指令。
預熱：1小時(shí)到相關(guān)精度。
尺寸：
機架安裝：89mm 高 × 213mm 寬 × 370mm 深(3.5 in. × 8.4 in. × 14.6 in.)
臺式配置(帶手柄和腳): 104mm高 × 238mm 寬× 370mm 深 (4.1 in. × 9.4 in.× 14.6 in.)
重量：23.1kg (10.5 lb.)
工作環(huán)境：僅限于室內。
海拔：高于海平面最大2000米(6562 ft)。
工作：溫度0°–50°C；相對濕度70% R.H.（最高35°C），在35°–50°C，相對 濕度降低3%/°C。
存儲：–25°C 到 65°C。
注
1. 速度= 正常 (1.0 NPLC)，篩選。
2. 1年。
3. 在滿(mǎn)量程(以及零)輸入電流情況下，測量DVin/ΔIin。
4. 在滿(mǎn)量程(20mA) 以及零負載電流情況下，測量DVin/ΔIin。
5. 根據設計確定技術(shù)指標。
6. 在滿(mǎn)量程(20mA) 以及零輸入電流情況下，在輸入三同軸接頭處進(jìn)行測量。
泰克Keithley 6400 系列皮安表
