泰克2606B 高密度 SourceMeter? SMU 儀器

2606B 高密度系統 SourceMeter (SMU) 儀器在 1U 高的機箱中提供四條 20 瓦 SMU 通道。由于制造商需要優化占地空間并減少測試時間和成本，2606B 將密度提高 3 倍、提高吞吐量并盡量減少增加測試設備機架的需求。此 SMU 為測試激光二極管、LED、2 和 3 端子半導體等生產的理想解決方案。

2606B 系統源表源測量單元(SMU) 儀器在一個外形1U 高的機箱中集成了四個20W SMU 通道。2606B 基于 吉時利第三代SMU 技術，在一臺緊密集成的儀器中， 同時融合了精密電源、真實電流源、6 位半DMM、任 意波形發生器和脈沖發生器的功能。其提供了強大的 解決方案，明顯提升了測試效率，可以滿足苛刻的光 電器件自動檢定和生產測試需求，比如3D 傳感和光通 信中使用的VCSEL/ 激光二極管、消費品和汽車中使用 的LED 以及模擬IC、ASIC 和片上系統(SOC) 器件等 集成器件。在要求高SMU 通道數時，多臺2606B 儀 器可以相互堆疊，在儀器之間不需要散熱空間。基于 網絡瀏覽器的內置軟件可以通過任何電腦，從世界上 任何地方與2606B 通信。對自動系統應用，2606B 的 測試腳本處理器(TSP?) 技術從儀器內部運行整個測試 程序，實現業內最好的吞吐量。在大型多通道應用中， 吉時利的TSP-Link? 技術與TSP 技術相結合，實現了 高速SMU-per-pin 并行測試。在使用于新應用時， 每臺2606B SMU 的代碼都能兼容行業領先的Keithley 2602B 系統源表SMU 儀器。

主要特點:

• 在一個 1U全機架機箱中實現 4 通道 SMU 儀器

• 可堆疊，儀器之間沒有 1U間隔要求

• 緊密集成的電壓/電流源和測量儀器，6位半分辨率，提供同類最佳的性能

• 20 V @ 1 A 和 6 V @ 3 A 功率包絡，20 W

• 0.015% DCV基本準確度

• 高達 28個開路漏極數字 I/O 口

• 測試結果與 2602B系統源表 SMU 儀器一致

• TSP 技術把整個測試程序嵌入儀器內部，實現了同類最佳的系統級吞吐量

• TSP-Link擴展技術，實現多通道并行測試，無需主機

• 前面板LAN (LXI-C)、USB 2.0 TMC488協議和數字I/O 接口

• 基于網絡瀏覽器的內置軟件，通過任何瀏覽器，從世界上任何地方任何電腦實現遠程控制

TSP 技術，實現自動測試及無可比擬的吞吐量

對需要最高程度的自動化和吞吐量的測試應用，2606B 的TSP 技術提供了業界最好的性能。TSP 技術遠遠 超越傳統測試命令序列，它把整個測試程序全面嵌入 SMU 儀器中，然后從SMU 儀器內部執行整個測試程序。 這幾乎消除了總線與PC 控制器之間耗時的通信，從而 明顯改善了整個測試時間。

TSP 技術從2606B 非易失性內存中執行整個測試程序。

TSP-Link 技術，SMU-per-pin 并行測試

TSP-Link 是一種通道擴展總線，可以讓多臺Series 2606B 實現互連，或與支持TSP 的其他吉時利儀器連接起來，作為 一個緊密同步的多通道系統操作。2606B 的TSP-Link 技術 與其TSP 技術一起運行，支持高速SMU-per-pin 并行測試。 與其他高速解決方案（如大型ATE 系統）不同，2606B 實現 了并行測試性能，而沒有主機的成本或負擔?；赥SP-Link 的系統還實現了杰出的靈活性，在測試要求變化時可以快速 簡便地重新配置系統。

TSP-Link 系統中的所有通道均同步到500 ns 以下。

采用TSP 和TSP-Link 技術執行SMU-per-pin 并行或多管 腳器件測試，改善測試吞吐量，降低測試成本。

典型應用

對各種器件進行I-V 功能測試和表征，包括：

• 光電器件
  - 垂直腔表面發射激光器(VCSELs)，激光二極管( 用于3D 傳感系統上)
  - 高亮度(HBLEDs)， 發光二極管(LEDs)
  - 顯示器

• 集成器件，小規模集成 (SSI) 和大規模集成(LSI)
  - 模擬ICs
  - 射頻集成電路(RFICs)
  - 特定應用集成電路(ASICs)
  - 片上系統(SOC) 器件

• 分立器件和無源器件
  -兩端口傳感器，磁盤頭，金屬氧化 壓敏電阻 (MOVs)，二極管，齊納二 極管，傳感器，電容器，熱阻器
  - 三端口小信號雙極晶體管 (BJTs)， 場效晶體管 (FETs) 等等

• 簡單的ICs光器件，驅動器，開關， 傳感器，轉換器，穩壓器

2606B SMU 儀器可以簡便地安放和堆疊在機架系統中，軌道 最小深度僅27 英寸(0.686 米)。

第三代SMU 儀器設計，確保更快的測試時間

在Series 2600B 儀器經過驗證的架構基礎上，2606B 的 SMU 儀器設計通過多種方式加強了測試速度。例如，2606B 采用已獲專利的系列量程拓撲，提供更快、更平滑的范圍變 化和輸出，其穩定速度要更快。
2606B SMU 儀器設計支持兩種運行模式，可以用于各種負載。 在正常模式下，SMU 儀器提供了高帶寬性能，實現最大吞吐 量。在高電容(high-C) 模式下，SMU 儀器采用較慢的帶寬， 提供強健的性能及更高的容性負載。

技術數據條件

本文包含著2606B 系統源表儀器的技術數據和補充信息。技術數據是2606B 儀器的檢測標準。在出廠時，2606B 儀器均滿足 這些技術數據。補充數據和典型值是沒有保障的值，應用溫度為23℃，只作為實用信息使用。技術數據適用于各個模塊。

源和測量準確度針對2606B 端子的條件如下：
1. 23℃ ±5℃ ,<70% 相對濕度
2. 在預熱兩個小時之后
3. 正常速度(1 NPLC)
4. 啟動模數轉換自動清零
5. 遠端四線操作或正確清零后的兩線操作
6. 校準周期：一年

DC 電源技術數據

電壓準確度指標3, 4

注：
1. 如需各種負載和溫度條件的其他功率額定值下降信息，請參閱Series 2606B 參考手冊中的“功率范圍”。
2. 系統源表支持第二象限和第三象限操作，但主要目標是低功率或短瞬態行為。第二象限和第三象限操作可能會導致溫度過高錯誤。
3. 對0℃ ~ 18℃和28℃ ~ 50℃溫度，準確度劣化±(0.15 × 準確度指標)/℃。
4. HI 引線每下跌1V，源準確度指標加50 μV。

電流準確度指標3

補充特點

以下指標是補充特點，提供了與儀器功能和性能有關的進一步信息。這些特點指標沒有保障，描述了2606B 的典型性能。

其他源特點

噪聲
10 Hz ~ 20 MHz < 20 mV 峰峰值, < 3 mV RMS, 6 V 范圍
最小可編程脈寬 6, 7
100ms
注：I/V 輸出和負載一定時，穩定源的最小脈寬可能會長于100 ms。

注：
3. 對0℃ ~ 18℃和28℃ ~ 50℃溫度，準確度劣化±(0.15 × 準確度指標)/℃。
5. 通過提高誤差項，NPLC 設置<1 的準確度指標會下降。使用下表，為阻性負載增加讀取項的相應百分比。

6. 從脈沖開始到結束的時間，參見下圖。

7. 源穩定設置成SETTLE_SMOOTH_100NA。

產品技術資料

• 脈寬編程分辨率

• 1μs

• 脈寬編程準確度

• ±5μs

• 脈寬抖動

• 2μs

• 瞬態響應時間

• 對負載10% ~ 90% 步長變化，輸出恢復到0.1% 以內為<70ms。

• 過沖

• 電壓: <±0.1% 的范圍 + 10 mV。步長 = 10% ~ 90% 的范圍，阻性負載，最大電流極 限/ 一致性。
  電流: <±0.1% 的范圍。步長 = 10% ~ 90% 的范圍，阻性負載。參見電流源輸出穩定時 間，了解其他測試條件。

• 量程變化過沖

• 電壓:<300 mV + 0.1% 的更大范圍。100 kW 負載過沖，20 MHz 帶寬。
  電流7:<300 mV/R 負載+ 5% 的較大范圍

• 保護偏置電壓

• <4 mV, 電流<10 mA

• 遠端四線工作范圍8

• HI 和SENSE HI 之間的最大電壓= 3 V
  LO 和SENSE LO 之間的最大電壓 = 3 V

• 最大輸出電壓

• 20 V 范圍: 最大輸出電壓 = 22 V - ( 經過源引線的總電壓下跌)。最大1W 源引線。
  6 V 范圍: 最大輸出電壓 = 8 V - ( 經過源引線的總電壓下跌)。最大1W 源引線。

• 溫度過高保護

• 內部傳感溫度過載時，會把儀器置于待機模式。

• 極限/ 一致性

• 雙極極限( 一致性) 使用一個值設置。
  電壓: 最小值是10 mV；準確度與電壓源相同。
  電流: 最小值是10 nA；準確度與電流源相同。

• 電壓源輸出穩定時間

• 在固定范圍上處理源電平命令后達到最終值0.1% 內要求的時間。

  電壓范圍	穩定時間
  100mV	< 50μs
  1 V	< 50μs
  10 V	< 110μs
  20 V 9	< 150μs

• 電壓源輸出穩定時間

• 在固定范圍上處理源電平命令后達到最終值0.1% 內要求的時間。

  電流范圍	穩定時間
  3 A	< 80μs ( 電流 < 2.5 A, R 負載 > 2W)
  1 A ~10mA	< 80μs (R 負載 > 6W)
  1μA	< 100μs
  100 μA	< 150μs
  10 μA	< 500μs
  1 μA	< 2ms
  100 nA	< 20ms

注：
7. 源穩定設置成SETTLE_SMOOTH_100NA
8. 每伏特HI 引線下跌在源準確度指標中增加50μV。
9. 在1 A 范圍上測量時增加150μs。

其他測量特點

• 電流測量穩定時間?10

• 在固定量程上到達設置值 0.1% 內的時間。下面的值適用于 Vout = 1 V。

  電流范圍	穩定時間
  1 mA	< 100μs

• 輸入阻抗

• > 10 GΩ

其他特點

• 最大負載阻抗

• 正常模式 10 nF。高電容模式 50 μF。

• 共模電壓

• 250 VDC

• 共模隔離度

• >1 Gμ, < 4500 pF

• 傳感高輸入阻抗

• >10 Gμ

• 最大傳感引線電阻

• 對額定準確度為 1 kμ

• 這量程

• 源范圍的 101%。測量范圍的 102%。

測量速度特點?11, 12

最大掃描操作速率 ( 每秒操作次數 )，60 Hz (50 Hz)

注： 10. 一致性測試等于 100 mA。
11. 使用下述設備執行測試：電腦硬件— Intel? CoreTM i7, 2.90 GHz, 8 GB RAM；軟件 — Microsoft? Windows? 10 Enterprise 64 位 , Microsoft? Visual Studio? 2010, VISATM 第 5.8 版。
12. 不包括<1 mA 的電流測量范圍。

最大單次測量速率 ( 每秒操作次數 )，60 Hz (50 Hz)

• 最大測量范圍變化速率

• >7000 次 / 秒，>10μA。在變到或從范圍≥ 1 A 變化時，最大速率是 >2200 次 / 秒

• 最大源范圍變化速率

• >400 次 / 秒，>10μA。在變到或從范圍≥ 1 A 變化時，最大速率是 >190 次 / 秒。

• 最大源功能變化速率

• >>1000 次 / 秒

• 命令處理時間

• <1 ms。在收到 smua.source.levelv 或 smua.source.leveli com 命令后，輸出開始變化要求的最大時間。

觸發和同步特點

觸發

觸發輸入到觸發輸出 0.5μs
觸發輸入到源變化13?10μs
觸發定時器準確度 ±2μs
LXI 觸發后源變化 280μs

同步

多節點同步源變化13?< 0.5μs
單節點同步源變化13?< 0.5μs
注： 13. 固定源范圍，極性無變化。

補充信息

編程

可以從任何主機接口訪問嵌入式測試腳本處理器 (TSP?) 腳本引擎： 對單條儀器控制命令作出響應對高速測試腳本作出響應，包括遠程命令和測試腳本語言 (TSL) 語句 ( 如分支、循環和數學 ) 能夠執行內存中存儲的高速測試腳本，而不需主機干預

可用的最小內存

16 MB ( 約 250,000 行 TSP 代碼 )

Test Script Builder( 測試腳本構建程序 )

用來構建、運行和管理 TSP 腳本的集成開發環境，包括一個儀器控制臺，用來與支持 TSP 的任何儀器交互通信。如需了解要求，請參閱 Test Script Builder 文檔資料，具體參見：tek.com/keithley。

軟件界面

使用 Microsoft? Visual Basic?, Visual C/C++?, Visual C#?, LabVIEWTM, CEC TestPointTM數據采集軟件包 , NI LabWindowsTM/CVI 等進行讀 / 寫。

讀取緩沖器

非易失性內存使用為測量數據預留的專用存儲區域。讀取緩沖器是由測量單元組成的陣列。每個單元可以存儲以下項目：
測量
源設置 ( 在獲取測量數據時 )
測量狀態
范圍信息
時間標記
可以使用前面板 STORE 密鑰填充讀取緩沖器，使用 RECALL 密鑰或主機接口進行檢索。

緩沖器容量，有時間標記和源設置時 >60,000 個樣點

緩沖器容量，沒有時間標記和源設置時 >140,000 個樣點

系統擴容

TSP-Link 擴展接口允許支持 TSP 的儀器觸發及相互通信。參見下表。

2606B 有四個 TSP-Link 連接器 ( 每個模塊上兩個 )，可以更簡便地順序連接多臺儀器。 源測量儀器一旦通過 TSP-Link 擴展接口互連，那么電腦可以通過任何系統源表的主機接口訪問每臺源測量儀器的所有資源。 最多可以互連 32 個 TSP-Link 節點。每個源測量模塊使用一個 TSP-Link 節點。

定時

定時器: 自由運行 47 位計數器，帶有 1 MHz 時鐘輸入。每次在儀器開機時都會復位。如果儀器沒有開機，定時器會每四年一次自動復位為零 (0)。
時間標記: 在每次觸發測量時會自動保存 TIMER 值。
分辨率: 1μs
時間標記準確度: ±100 ppm

整體技術數據

以太網 RJ-45 連接器 , LXI 第 1.4 版 Core 2011, 10/100BaseT, Auto-MDIX
LXI 標準
LXI 第 1.4 版 Core 2011
擴展接口
TSP-Link? 擴展接口允許支持 TSP 的儀器觸發及相互通信。
電纜類型：超五類或以上的局域網交叉電纜。
支持 TSP 的每臺儀器之間最遠 9.84 英尺 (3 米 )。
USB 控制
USB 2.0 設備 : USB-TMC488 協議
USB 文件系統
USB 2.0 主控 : 海量存儲級設備
電源
100 VAC ~ 240 VAC, 50 Hz 或 60 Hz ( 自動傳感 ), 425 VA 最大值
冷卻
強制通風；前面和側面進風，后面出風
保修:一年
EMC
滿足歐盟 EMC 指令
安全
NRTL 列入 UL61010-1 和 CSA C22.2 No 61010-1。滿足歐盟低壓指令。
環境
僅用于室內
高度 : 最高海拔 6562 英尺 (2000 米 )。
工作時：0℃ ~ 50℃。35℃以下時 70% 相對濕度，35℃ ~ 50℃時相對濕度每° C 下降 3%。
貯存：-25℃ ~ 65℃
外觀尺寸
機架安裝：1.7 英寸高 × 19 英寸寬 × 26.8 英寸深 (44 mm × 483 mm × 680 mm)
重量
13.6 公斤 (30 磅 )
數字 I/O 接口

連接器 : 25 針孔式 D 型連接件
輸入 / 輸出針 : 14 個開路漏極 I/O 位
絕對最大輸入電壓 : 5.25 V
絕對最小輸入電壓 : -0.25 V
最大邏輯低輸入電壓 : 0.7 V, +850μA 最大值
最小邏輯高輸入電壓 : 2.1 V, +570μA
最大源電流 ( 流出數字 I/O 位 ): +960μA
最大邏輯低電壓 (0.7 V) 時的最大吸收電流 : -5.0 mA
絕對最大吸收電流 ( 流入數字 I/O 針 ): -11 mA
5 V 電源針 : 限于 250 mA, 固態熔絲保護
輸出啟用 : 使用 10 k? 電阻器在內部把活動高輸入牽引到接地；在激活輸出啟用輸入功能時，每條源表通道不會打開，除非輸出啟用針驅動到 >2.1 V ( 標稱電流 = 2.1 V / 10 k? = 210μA)。

訂貨信息

2606B: 4 通道系統源表 SMU 儀器

隨機所帶附件

操作人員手冊和編程手冊

• CA-180-16

• 局域網交叉電纜 , 0.41 米 (16 英寸 ) ( 帶有兩條 )

• 174710700

• 屏蔽五類交叉電纜 , 用于 TSP-Link 和直接以太網連接 , 1.5 m (5 英尺 )

• CA-568

• 綠色和黃色接地電纜 , 3 m (120 英寸 )

• 2600-KIT

• 8 針定制電纜連接器 , 電纜盒 , 應力減緩裝置 ( 帶有 4 個 )

• 7709-308A

• 25 針 D-shell 連接器套件 ( 用于數字 I/O 端口 ) ( 帶有 2 個 )

• 4299-13

• 1U 固定機架安裝套件 ( 要求軌道深度最低 0.686m (27 英寸 ))

• 電源線

• 視不同國家而定

• Test Script Builder 軟件

• ( 下載網址：www.tek.com)

• LabVIEW 驅動程序

• ( 下載網址：www.tek.com)

• 用戶手冊

• ( 下載網址：www.tek.com)

選配附件

電纜和連接器

• 2600-BAN

• 香蕉頭測試電纜 / 轉接頭電纜

• 2600-KIT

• 額外的螺絲接線片連接器 , 應力減緩裝置 , 保護罩

• 2600-FIX-TRIAX

• Phoenix 到三同軸轉接頭 , 用于 2 線傳感

• 2600-TRIAX

• Phoenix 到三同軸轉接頭 , 用于 4 線傳感

• 7078-TRX-*

• 3 插槽低噪聲三同軸電纜 , 0.3 m-6.1 m。用于 2600-TRIAX 轉接頭 * = 1, 3, 5, 10, 12, 20 ( 分別用于 0.3 m, 0.9 m, 1.5 m, 3.0 m, 3.5 m, 6.0 m)

• 7078-TRX-GND

• 3 插槽針式三同軸到 BNC 轉接頭 ( 去掉保護 )

• 7709-308A

• 數字 I/O 連接器 ( 視具體型號而定 )

• 8606

• 高性能模塊化探頭套件 , 用于 2600B-BAN

數字 I/O、Trigger Link 和 TSP-Link

• 2600-TLINK

• 數字 I/O 到 TLINK 轉接頭電纜 , 1 m

• CA-126-1A

• 數字 I/O 和觸發電纜 , 1.5 m

• 174710700

• 屏蔽五類交叉電纜 , 用于 TSP-Link 和直接以太網連接 , 1.5 m (5 英尺 )

可選服務

延保

• 2606B-EW

• 把 1 年出廠保修延至 2 年

• 2606B-3Y-EW

• 把 1 年出廠保修延至 3 年

• 2606B-5Y-EW

• 把 1 年出廠保修延至 5 年

校準合同

• C/2606B-3Y-STD

• 三年內校準三次

• C/2606B-5Y-STD

• 五年內校準五次

• C/2606B-3Y-DATA

• 三年內校準三次，包括調節前和調節后的校準數據C/2606B-5Y-DATA 五年內校準五次，包括調節前和調節后的校準數據C/2606B-3Y-17025 三年內進行三次 IS0-17025 認可的校準

• C/2606B-5Y-17025

• 五年內進行五次 IS0-17025 認可的校準

保修信息

• 保修摘要

• 本節概括介紹了 Series 2606B 保修。如需完整的保修信息，請參閱 Series 2606B 參考手冊。非吉時利制造的任何產品部分均不享受本保修，吉時利沒有義務為任何其他制造商提供保修。

• 硬件保修

• 吉時利儀器公司保證，吉時利制造的硬件部分一年內在材料或工藝上沒有缺陷，前提是這類缺陷不是因為未根據硬件說明使用吉時利硬件而引起的。此擔保不適用于客戶對吉時利硬件所作的任何修改，或在環境指標之外運行硬件。

• 軟件保修

• 吉時利保證，吉時利生產的軟件或固件部分在90 天內在所有材料方面均滿足公布的技術數據， 前提是該軟件根據軟件說明用于預計的產品上。吉時利不保證軟件操作不會中斷或沒有錯誤， 也不保證軟件足以滿足客戶的預計應用。此擔保不適用于客戶對該軟件所作的任何修改。

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