泰克Keithley 2400 SourceMeter SMU 儀器

Keithley 2400 系列 SMU 儀器提供四象限精密電壓和電流源/負載，外加觸摸屏用戶(hù)界面上的測量。 這些儀器可同時(shí)提供 10 fA - 10 A 脈沖電流和/或 100nV - 200V 電壓、1000W 脈沖和 100W 直流總功率的源和測量。

吉時(shí)利數字源表系列專(zhuān)用于要求緊密結合源和測量 的測試應用。全部數字源表型號都提供精密電壓源和電 流源以及測量功能。每款數字源表既是高度穩定的直流 電源也是真儀器級的6位半萬(wàn)用表。此電源的特性包括 低噪聲、精密和回讀。此萬(wàn)用表的功能包括可重復性高 和低噪聲。最終形成了緊湊、單通道、直流參數測試儀。 在工作時(shí)，這些儀器能用作電壓源、電流源、電壓表、電 流表和歐姆表。通信、半導體、計算機、汽車(chē)和醫療行業(yè) 的組件和模塊制造商會(huì )發(fā)現吉時(shí)利數字源表是適于特 性分析和生產(chǎn)測試等廣泛應用的重要源表。

主要特性：

• 集5臺儀器的功能于一體（IV源、IVR 測量）

• 6種模式：20W~100W直流、1000W脈沖、1100V至1μV、10A至10pA

• 源和阱（4象限）工作

• 0.012%基礎測量精度（6位半分辨率）

• 2線(xiàn)、4線(xiàn)和6線(xiàn)遠程電壓源和測量感測

• 1700讀數/秒（4位半分辨率），通過(guò)GPIB

• 通過(guò)/失效比較器用于快速排序/分選

• 提供高速感測線(xiàn)接觸檢查功能

• 可編程DIO端口用于自動(dòng)化/處理程序/探針控制

• 標準SCPI GPIB、RS232和吉時(shí)利觸發(fā)鏈路接口

• 吉時(shí)利LabTracer 2.0版I-V曲線(xiàn)跟蹤應用軟件（下載）

典型應用

設備：

• 分立半導體器件

• 無(wú)源器件

• 瞬變抑制器件

• IC、RFIC、MMIC

• 激光二極管、激光二極管模塊、LED、光檢測器

• 電路保護器件：TVS、MOV、保險絲等

• 氣袋

• 連接器、開(kāi)關(guān)、繼電器

測試：

• 漏電

• 低電壓/電阻

• LIV

• IDDQ

• I-V特性分析

• 隔離和印制線(xiàn)電阻

• 溫度系數

• 正向電壓、反向擊穿、漏電流

• 直流參數測試

• 直流電源

• HIPOT

• 絕緣耐壓測試序列舉例

緊湊集成儀器的優(yōu)點(diǎn)

通過(guò)在單臺裝置中連接源和測量電路，這些儀器能 提供多種優(yōu)于單獨的源和測量?jì)x器構建的系統。例如， 它們極大地縮短了測試站開(kāi)發(fā)，建立和維護所需的時(shí) 間，同時(shí)降低了購買(mǎi)系統的整體成本。通過(guò)去除與使用 多臺儀器相關(guān)的復雜同步和連接問(wèn)題，它們簡(jiǎn)化了測試 過(guò)程本身。而且，緊湊的半機架尺寸節省了測試架或測試臺的寶貴“空間”。

集5種儀器功能于一體（IV源、IVR測量）

源測量?jì)x器的精密耦合特點(diǎn)相對分立儀器具有許多優(yōu)點(diǎn)。例如，它具有更短的測試時(shí) 間，通過(guò)減少GPIB的流量并簡(jiǎn)化了遠程編程接口。它還保護被測設備在偶爾過(guò)載、熱失控 等情況下不被損壞。電流源和電壓源都可設置回讀使器件測量完整性最大化。如果回讀 達到可編程容限的極限，那么該源就被鉗位在此極限，從而提供錯誤保護。

I-V特性分析

所有數字源表均提供4象限工作。工作在第1和第3象限時(shí)，作為電源向負載輸出 功率。工作在第2和第4象限時(shí)，作為阱（負載）吸收能量。在源或阱工作期間都能測 量電壓、電流和電阻。

自動(dòng)化以提高速度

吉時(shí)利數字源表提高了生產(chǎn)測試的效率。它 能在提供電壓源或電流源的同時(shí)進(jìn)行測量，無(wú)需 更改連接，因此適合于在不間斷生產(chǎn)環(huán)境中可靠 地工作。為了提供生產(chǎn)應用所需的吞吐率要求， 數字源表具有許多內建功能因而能運行復雜的 測試序列，無(wú)需速度較低的計算機控制或GPIB通 信。

標準掃描和定制掃描

掃描方案采用自動(dòng)化鉤子（hook）極大加快 了測試。三種基本掃描波形可設置為單事件或連 續工作，因而非常適于I/V、I/R、V/L和V/R特性分 析。

• -線(xiàn)性階梯掃描：從起始電平到終止電平使用相等的線(xiàn)性步長(cháng)

• -對數階梯掃描：按照每十個(gè)單位指定的步數按對數量比例進(jìn)行掃描

• -定制掃描：通過(guò)指定測量點(diǎn)的數量和每個(gè)點(diǎn)的輸出電平，支持設立專(zhuān)用掃描

• -達1700讀數/秒（4位半分辨率），至GPIB總線(xiàn)

• -5000個(gè)讀數可以存儲在非易失緩沖存儲器中

內建測試定序儀（源存儲器列表）

源存儲器列表提供了更快捷、更方便的測試，您能設置和執行多達100種不同的測試并 能實(shí)現無(wú)PC干預的運行。

• -存儲多達100種儀器配置，每種均包含源設置、測量設置、通過(guò)/失效標準等。

• -通過(guò)/失效極限測試速度達500μs/測試點(diǎn)

• -板上比較器消除了當發(fā)送數據至計算機分析時(shí)產(chǎn)生的延遲

• -內建、用戶(hù)定義的數學(xué)函數用于計算推導參數

數字I/O接口

數字I/O接口能將數字源表連接至許多流行的組件處理程序，包 括Aetrium、Aeco和Robotronics。此接口的其它功能包括：

• 緊湊的系統集成用于分選和排序等應用

• 內建組件處理程序接口

• 測試開(kāi)始和測試結束信號

• 5V、300mA電源

• 可選擴展器附件（2499-DIGIO型）增加16條數字I/O線(xiàn)

觸發(fā)鏈路接口

全部數字源表都包含吉時(shí)利專(zhuān)有的觸發(fā)鏈路接口，能與許多吉 時(shí)利許多其它儀器建立高速、無(wú)縫的通信。例如，使用觸發(fā)鏈路接口 連接數字源表和7000系列開(kāi)關(guān)系統以實(shí)現完整的多點(diǎn)測試方案。在 獨立于計算機和GPIB的高速測試序列過(guò)程中，通過(guò)觸發(fā)鏈路，7000系 列開(kāi)關(guān)系統可被數字源表控制。

可選接觸檢查功能

在自動(dòng)測試序列開(kāi)始之前，接觸檢查功能可以快捷、容易地驗 證是否連接良好。這消除了由于接觸疲勞、破損、玷污、松動(dòng)或連接 中斷、繼電器故障等產(chǎn)生的測量誤差和不真實(shí)的產(chǎn)品缺陷。此功能 的一些性能如下：

• 350μs驗證和通知處理時(shí)間

• 數字源表的輸出在出錯之后自動(dòng)關(guān)閉并且直至確認接觸良好后再 激活，進(jìn)而保護被測器件不被損壞并保護控制器不受潛在的安全 性威脅。

• 3個(gè)通過(guò)/失效閾值：2Ω、15Ω和50Ω

• 在工作過(guò)程中，沒(méi)有能量通過(guò)被測器件

• 從前面板使能或遠程通過(guò)GPIB使能

• 3種故障通知方法

6線(xiàn)歐姆電路。因為大電流防護使R2兩端電壓為0V，所以全部測試電流通過(guò)R1。

獨有的6線(xiàn)電阻測量方法

數字源表能進(jìn)行標準4線(xiàn)、分裂Kelvin以及6線(xiàn)、帶防護的電阻測 量并且能配置為恒流或恒壓方法。6線(xiàn)測量方法：

• 除了4線(xiàn)感測和源測試線(xiàn)之外，還使用防護和防護感測線(xiàn)。

• 鎖定并行電流路徑，當測量電阻排或混合電路隔離被測元件時(shí)

• 允許用戶(hù)用2400系列源表簡(jiǎn)捷地配置和繪制數據，從而能輕易實(shí) 現兩臺、三臺和四臺終端器件的特性分析

電壓精度（本地或遠端感測）

NOTES

1. 溫度系數（0°C ~18°C & 28°C ~50°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。

2. 電壓調整率：線(xiàn)路調整率：量程的0.01%。負載調整率：量程的0.01%+ 100μV。

3. 過(guò)壓保護：用戶(hù)可選值，5%允許誤差。工廠(chǎng)缺省=none。

4. 電流極限/鉗位：雙極性電流極限（嵌位）設為一個(gè)值。量程的0.1%（最小值）。

5. 過(guò)沖：典型值<0.1%（滿(mǎn)量程步長(cháng)，電阻性負載，10mA量程）。

源指標附加說(shuō)明（適用所有型號）

瞬時(shí)響應時(shí)間：當負載發(fā)生階躍變化時(shí)，輸出信號恢復到規定值的時(shí)間 為30μs（最低要求）。
命令處理時(shí)間：接收到：SOURce:VOLTage|CURRent命令后，輸出端開(kāi)始變化所需的最長(cháng)時(shí)間。自動(dòng)量程開(kāi)：10ms。自動(dòng)量程關(guān)：7ms。
輸出穩定時(shí)間：命令處理和輸出轉換之后，達到最終值0.1%的所需時(shí)間。100μs（典型值）。阻性負載。10μA至100mA量程。
直流浮地電壓：輸出端可以從機殼地電平上浮至±250VDC（2440型為±40VDC）。
遠端感測：每條負載線(xiàn)的壓降達1V。
嵌制準確度：在基本指標上量程增加0.3%并且讀數增加±0.02%。
過(guò)溫保護：如果內部檢測到溫度過(guò)載就將部件置為待機模式。
量程變化過(guò)沖：過(guò)沖至全阻性100kΩ負載，10Hz~1MHz帶寬，相鄰
量程：100mV（典型值），除了20V/200V（20V/60V，對于2420），20V/100V對于2425和2430，量程邊界和和2440。
最小嵌位值：量程的0.1%。

附加脈沖模式源指標（僅對2430和2430-C）

最大占空比：8%，硬件限制，僅10A量程。所有其它量程為100%。
最大脈沖寬度：5ms從90%上升沿至90%下降沿，2.5ms 10A量程。
最小脈沖寬度：150μs。
最小脈沖分辨率：50μs（典型值），70μs（最大值）由系統抖動(dòng)限制。
源精度：由穩定時(shí)間和源量程指標決定。
輸出穩定時(shí)間0.1%：
800μs（典型值），電流源=10A至10Ω，被電壓轉換速率限制。
500μs（典型值），電流源=10A至1Ω，被電壓轉換速率限制。
輸出轉換速率：
電壓（10Ω負載）：0.25V/μs±30%在100V量程。0.08V/μs±30%在20V量程、10A量程。
電流（0Ω負載）：0.25A/μs±30%在100V量程。0.08A/μs±30%在20V量程、10A量程。

注解：

1.僅2400、2410：指標對連續輸出電流低于105mA有效。對高于105mA連續工作超過(guò)
1分鐘，精度降低10%/35mA（高于105mA）。
2.速度=正常（1PLC）。對于0.1PLC，增加0.005%量程補償指標，除了200mV、1A、10A量程，增加0.05%。對于0.01PLC，增加0.05%量程補償指標，除了200mV、1A、10A量程增加0.5%。
3.當正確歸零時(shí)，精度適用于2線(xiàn)或4線(xiàn)模式。
4.在脈沖模式，限制在0.1 PLC測量。

電流準確度（本地或遠端感測）

NOTES

1. 溫度系數（0°C ~18°C & 28°C ~50°C）：±（0.15×規定的準確度）/°C。

2. 電流調整率：線(xiàn)路調整率：量程的0.01%。負載調整率：量程的0.01%（除了2440型 5A量程的0.05%） + 100pA。

3. 電壓極限/嵌位：雙極性電壓極限（嵌位）設為一個(gè)值。量程的0.1%（最小值）。

4. 過(guò)沖：典型值<0.1%（1mA步長(cháng)，RL=10kΩ，20V量程，適于2400、2410、2420、2425 、2430），（10V量程，對于2440）。

注解：

1.僅2400、2410：指標對連續輸出電流低于105mA有效。對于高于105mA連續工作>1 分鐘，精度降低10%/35mA（高于105mA）。
2.全工作（1A）不考慮負載至30°C（50°C對于2420和2440）。高于30°C（50°C 對于2420和2440）環(huán)境溫度，降低35mA/°C并且分配35mA/Ω負載。4線(xiàn)模 式。對于電流阱工作在1A、3A或5A量程，最大連續功率限制在約1/2額定功率 或更低，這取決于電流，達30°C環(huán)境溫度。見(jiàn)用戶(hù)手冊的功率公式計算具體 條件下允許的占空比。
3.對于阱模式，1μA~100mA量程，準確度是： 2400：±(0.15%+偏移量*4)，2410、2420、2425、2430、2440：±(0.5%+偏移 量*3)。
對于1A量程，準確度是： 2400：±(1.5%+偏移量*8)，2410、2420、2425、2430、2440：±(1.5%+偏移量*3)
4.10A的量程僅在脈沖模式中可以達到。限制在2.5ms脈沖寬度最大值。10%占空比 最大值。
5.速度=正常（1PLC）。對于0.1PLC，增加0.005%量程補償指標，除了200mV、 1A、10A量程增加0.05%。對于0.01PLC，增加0.05%量程補償指標，除了 200mV、1A、10A量程增加0.5%。
6.當正確歸零時(shí)，精度適用于2線(xiàn)或4線(xiàn)模式。
7.在脈沖模式，限制在0.1 PLC測量。
8.僅2400和2400-C。

電阻測量準確度（本地或遠端感測）?1, 2, 5

溫度系數（0°C ~18°C & 28°C ~50°C）：±（0.15×規定的準 確度）/°C。
電流源模式，手動(dòng)電阻：不確定度總和=電流源準確度+電壓測 量準確度（4線(xiàn)遠端感測）。
電壓源模式，手動(dòng)電阻：不確定度總和=電壓源準確度+電流測 量準確度（4線(xiàn)遠端感測）。
6線(xiàn)電阻模式：支持使用有源電阻防護和防護感測。防護輸出
電流最大值：50mA（1A量程除外）。準確度依賴(lài)于負載。計算公式請 參見(jiàn)第2033號白皮書(shū)。
防護輸出阻抗：<0.1Ω，電阻模式。

注解

1. 1.速度=正常（1 PLC）。對于0.1 PLC，增加0.005%量程補償指標，除了200mV、1A、10A量程增加 0.05%。對于0.01 PLC，增加0.05%量程補償指標，除了200mV、1A、10A量程增加0.5%。

2. 2.當正確歸零時(shí)，精度適用于2線(xiàn)或4線(xiàn)模式。

3. 3.僅手動(dòng)電阻——除了2420、2425、2430、2440用于2Ω量程以及2410或2400用于200MΩ量程。

4. 4.激活源回讀，偏移補償開(kāi)。而且2410、2420、2425、2430和2440也提供類(lèi)似的精度增強。

5. 5.在脈沖模式，限制在0.1 PLC測量。

6. 6.除了2440；缺省測試電流是5μA。

7. 7.除了2440；缺省測試電流是0.5μA。

系統速度

測量?1

量程變化速率最大值：75/s

自動(dòng)量程測量時(shí)間最大值：40ms（固定源）。

掃描工作模式3讀數速度（讀數/秒）@ 60Hz（50Hz）：

單讀數工作模式的讀速度（讀數/秒）@ 60Hz（50Hz）：

元件@ 60Hz（50Hz）4, 6

NOTES

1 讀數速率可用于電壓或電流測量。關(guān)閉自穩零，關(guān)閉自動(dòng)量 程，關(guān)閉濾波器，關(guān)閉顯示，觸發(fā)延時(shí)=0，并且采用二進(jìn)制讀 數格式。
2 純電阻性導線(xiàn)。1μA和10μA量程<65ms。
3 1000點(diǎn)掃描特點(diǎn)是在固定量程輸出。
4 采用上限和數學(xué)下限進(jìn)行通過(guò)/失效測試。
5 包含在做測量之前重新設置源到新電平的時(shí)間。
6 從測試開(kāi)始（START OF TEST）信號的下降沿到測試結束 （END OF TEST）信號的下降沿的時(shí)間。
7 不包括命令:SOURce:VOLTage|CURRent:TRIGgered?的 處理時(shí)間。

綜合說(shuō)明

噪聲抑制：

負載阻抗：穩定至20,000pF（典型值）。
共模電壓：250V直流（2440為40VDC）。
共模隔離：>109Ω，<1000pF。
過(guò)量程：量程的105%，源和測量。
輸入/輸出與測量端子之間的最大壓降：5V。
感測線(xiàn)電阻最大值：1MΩ，額定準確度。
感測輸入阻抗：>1010Ω。
防護偏置電壓：<150μV，典型值（2430、2440的典型值為300μV）。
源輸出模式：
脈沖（僅2430型）
固定直流電平
存儲器列表（混合功能）
階梯掃描（線(xiàn)性和對數）
內存緩沖區：5,000讀數/秒@5位分辨率（2個(gè)2,500點(diǎn)緩沖區）。包含所選的測量值和時(shí)間戳。鋰電池備份（電池壽命超過(guò)3年。）
源存儲器列表：100點(diǎn)（最大值）。
可編程性：IEEE-488 (SCPI-1995.0)，RS-232，5個(gè)用戶(hù)定義的上電狀態(tài)加出廠(chǎng)缺省設置和*RST。
數字接口：
互鎖：低電平輸入有效：
處理程序接口：測試開(kāi)始，測試結束，3類(lèi)比特。+5V@300mA電源。
數字I/O：1觸發(fā)輸入、4 TTL/繼電器驅動(dòng)輸出（33V@500mA、二極管鉗位）。
電源：100V-240Vrms，50Hz-60Hz（上電時(shí)自動(dòng)檢測）。
2400：190VA。2410：210VA。
2420：220VA。2425，2430：250VA。2440：240VA。
散熱：（2410、2420、2425、2430、2440）：強制空氣，可變速度。
EMC：符合歐盟指令89/336/EEC，EN 61326-1。
安全性：符合歐盟指令73/23/EEC，EN61010-1。
振動(dòng)：MIL-PRF-28800F Class 3隨機振動(dòng)。
預熱時(shí)間：1小時(shí)達到額定精度。
規格：89mm高×213mm寬×370mm深（3 1/2 in × 8 3/8 in × 14 9/16 in）?；鶞逝渲茫◣О咽?支腳）：104mm高×238mm寬×370mm深（4 1/8 in × 9 3/8 in × 14 9/16 in）。
重量：3.21kg（7.08磅）（2425、2430、2440重量為：4.1kg，9.0磅）。
工作環(huán)境：工作條件0°~50°C，70%相對濕度至35°C。降低3% R.H./°C，35°~50°C。
存儲條件：-25°C ~ 65°C。

2450型觸摸屏數字源表是吉時(shí)利新一代數字源表(SMU) 儀器，它真正把歐姆定律(電流、電壓和電阻)測試帶到你 的指尖。其創(chuàng )新的圖表化用戶(hù)界面(GUI)和先進(jìn)的電容觸摸 屏技術(shù)，實(shí)現了直觀(guān)使用和學(xué)習曲線(xiàn)簡(jiǎn)便化，支持工程師 和科學(xué)家掌握更迅速、工作更便捷、發(fā)明更簡(jiǎn)單。2450是 適用于各行各業(yè)使用者的源測量單元(SMU)：這種多用途 儀器特別適合現代半導體、納米器件和材料、有機半導體、 印刷電子技術(shù)以及其他小尺寸、低功率器件特性分析。這 些特性加上吉時(shí)利源測量單元(SMU)的精度和準確度，允 許用戶(hù)觸摸、測試和發(fā)明，無(wú)論現在和未來(lái)，都將成為您 實(shí)驗室中愛(ài)不釋手的儀器。

學(xué)習更迅速、工作更靈巧和發(fā)明更容易

同采用專(zhuān)用按鈕和小型、昏暗、字母數位有限顯示屏的傳統儀器相比，2450 儀表采用5英寸全彩色高分辨率觸摸屏界面，易于使用、學(xué)習和優(yōu)化整體速度和效 率。簡(jiǎn)潔的圖標化菜單結構能夠減少近50%的設置步驟，替代了繁瑣的傳統按鍵 式、多層次的菜單結構。內建圖標化的幫助功能支持直觀(guān)操作，把手動(dòng)翻頁(yè)需求 降到最低。這些能力加上其多用途應用，2450型儀器具有天生的易用性，適用于 基礎與先進(jìn)測量應用，不論您使用源測量單元（SMU）儀器的經(jīng)驗如何。

2450儀器主顯示

450儀器菜單

第四代一體化源測量單 元(SMU)儀器

2450型儀器是吉時(shí)利獲獎數字源表源 測量單元（SMU）系列儀器的第四代成員， 基于已被證明的2400型數字源表源測量單 元（SMU）儀器的體系結構。它提供高度 靈活的4象限電壓和電流源/載荷，以及精 密的電壓和電流儀器。這個(gè)一體化儀器可 以用作:

• 精密電源，具有電壓和電流回讀功能

• 真正電流源

• 數字多用表、測量直流電壓、電流、電阻和功率，分辨率6?數位

• 精密電子載荷

• 觸發(fā)控制器

2450儀表功率包絡(luò )

2400型與2450型儀器比較

除了觸摸屏以外，易于使用

除了5英寸彩色觸摸屏，2450型儀器還具有許多特性，可以增強其速度、用戶(hù) 友好和學(xué)習能力，包括USB 2.0存儲器I/O端口、HELP按鍵、旋轉指引/控制按鈕、 前/后面板輸入選擇按鈕，以及適合基本測試臺應用的香蕉插孔。USB 2.0存儲器 端口支持便利的數據存儲、保存儀器配置、裝載測試腳本及系統升級。此外，前 面板所有按鈕都采用背光，提高了在昏暗環(huán)境下的可見(jiàn)度。

2450型儀器前面板，包括高分辨率電容觸摸屏

4種“Quickset”模式簡(jiǎn)化用戶(hù)設置。輕輕一摸，儀器就可以迅速配置不同操作模 式，無(wú)需配置本次操作不需要的儀器。

全面的內建連通性

通過(guò)后面板可接入后輸入三軸連接 器、程控接口(GPIB, USB 2.0, LXI / 以 太網(wǎng))、D-sub 9針數字I/O端口(用于內 部/外部觸發(fā)信號和夾具控制)、儀器互 鎖控制以及TSP-Link?插孔，支持多部 儀器測試解決方案的輕松配置，并節省 購置其他適配器附件所需的費用。

Quickset模式支持快速設置，縮短測量時(shí)間

后面板連接已為信號完整性而優(yōu)化

將原始數據轉化為有用信息

2450型儀器提供完全繪圖和制表功能，可以在顯示屏 右側顯示掃描、測量數據和繪圖。它還支持將數據輸出至 電子數據表，供進(jìn)一步分析，并大幅提高研究、測試臺測 試、器件認證和調試的效率。

全部數據顯示、繪圖和輸出至電子數據表，將原始數據轉化為有用信息

典型應用

非常適合當今多種現代化電子器件的電流/電壓特性 分析和功能測試，包括：

采用TriggerFlow?構建模塊，適合儀器控制與執行

2450型儀器包含吉時(shí)利最新的TriggerFlow觸發(fā)系統，使用戶(hù)控制儀器執行情況。與開(kāi)發(fā)流程圖相似，TriggerFlow圖是利用4個(gè)基本構建模塊創(chuàng )建的：

TriggerFlow構建模塊使輕松用戶(hù)創(chuàng )建非常復雜的觸發(fā)模型

TriggerFlow模型使用構建模塊組合，通過(guò)前面板或發(fā)送 遠程命令可以創(chuàng )建該模型。利用TriggerFlow系統，用戶(hù)可以 利用最多255個(gè)簡(jiǎn)單或復制模塊構建觸發(fā)模型。2450型儀器 還包括基本觸發(fā)功能，包括即時(shí)、定時(shí)器和手動(dòng)觸發(fā)。

無(wú)與倫比的系統集成和編程靈活性

當2450儀器作為多通道I-V測試系統的一部分進(jìn)行集成 時(shí)，可通過(guò)該儀器運行嵌入腳本能力的測試腳本處理器 (TSP?)允許測試腳本，支持用戶(hù)創(chuàng )建功能強大的測量應用， 大幅縮短開(kāi)發(fā)時(shí)間。TSP技術(shù)還提供無(wú)需主機的通道擴展功 能。吉時(shí)利TSP-Link?通道擴展總線(xiàn)采用100 Base T以太網(wǎng) 電纜，可在一個(gè)主-從配置（作為一個(gè)綜合系統發(fā)揮作用） 中實(shí)現多個(gè)2450型儀器以及其他TSP儀器（如吉時(shí)利2600B 系列數字源表源測量單元（ SMU ）儀器及3700A系列開(kāi)關(guān) /多用表系統）的連接。TSP-Link擴展總線(xiàn)的每個(gè)GPIB或IP 地址支持高達32個(gè)單元，因此很容易對系統進(jìn)行擴展，滿(mǎn)足 應用的具體需求。

2450儀器包括標準SCPI編程模式，可以?xún)?yōu)化儀器的新 特性；還包括2400 SCPI模式，提供與現有數字源表一起的 后向兼容能力。這不僅保護用戶(hù)的2400儀器投資，而且省 去了儀器升級方面的重復工作。

并行測試能力

利用2450型儀器的TSP技術(shù)，可以對多個(gè)器件進(jìn)行并行測 試，滿(mǎn)足器件研究、先進(jìn)半導體實(shí)驗室應用以及高吞吐量生產(chǎn) 測試。這種并行測試能力支持系統中的每部?jì)x器運行自己的完 整測試序列，創(chuàng )建完全多線(xiàn)程測試環(huán)境。在2450型儀器上并行 運行的測試數量最高可以達到系統中的儀器數量。

免費儀器控制啟動(dòng)軟件和Web界面

KickStart是吉時(shí)利推出的最新儀器控制非編程啟動(dòng)軟件， 可使用戶(hù)在幾分鐘之內啟動(dòng)測量。在大多數情況下，用戶(hù)只需 要快速測量，即可將數據繪圖，并將數據存儲于光盤(pán)，用于在 Excel等軟件環(huán)境下進(jìn)行深入分析。

• 納米材料與器件
  – 石墨烯
  – 碳納米管
  – 納米線(xiàn)
  – 低功耗納米結構

• 半導體結構
  – 晶圓
  – 薄膜

• 有機材料與器件
  – 電子墨水
  – 印刷電子技術(shù)

• 能量效率與照明
  – LED/AMOLED
  – 光伏/太陽(yáng)電池
  – 電池

• 分立器件與無(wú)源組件
  – 雙引線(xiàn): 電阻器、二極管、齊納 二極管、LED、磁盤(pán)驅動(dòng)器磁頭 光驅、傳感器
  – 三引線(xiàn): 小信號雙極節型晶體管 (BJT)、場(chǎng)效應晶體管 (FET)，等等

• 材料特性分析
  – 電阻率
  – 霍爾效應

• 等待 – 等待事件發(fā)生，然后繼續流程

• 分流 – 當條件滿(mǎn)足時(shí)即實(shí)施分流

• 行動(dòng) – 啟動(dòng)儀器動(dòng)作，如測量、源、延遲、設置數字I/O等

• 通知 – 通知其他設備事件已經(jīng)發(fā)生

• KickStart軟件具有以下功能：

  利用KickStart啟動(dòng)軟件，用戶(hù)可在幾分鐘內做好測量準備

  采用易用儀器驅動(dòng)，簡(jiǎn)化編程

  對于希望創(chuàng )建自己定制 的應用軟件的用戶(hù)，可以登錄公司 網(wǎng)站www.keithley.com.cn，下載美國國家儀器公司LabVIEW? 驅動(dòng)、IVI-C及IVI-COM驅動(dòng)。

• 履行I-V特性分析的儀器配置控制

• 固有的X-Y繪圖、平移和縮放

• 電子數據表/表格

• 保存和輸出數據，用于進(jìn)一步分析

• 保存測試設置

• 屏幕截圖

• 測試注釋

• 命令行對話(huà)框，用于發(fā)送和接收數據

• HTML幫助

• 符合GPIB、USB 2.0、以太網(wǎng) 標準

電壓規格1,2

電流規格1,2

溫度系數(0°–18°C及28°–50°C): ±(0.15 × 精度規范) /°C。

1. 速度 = 1 PLC。
2. 所有指標均為輸出開(kāi)啟狀態(tài)下指標。
3. 正確歸零時(shí)，精度適用于2線(xiàn)和4線(xiàn)模式。
4. 對于阱模式，1μA～100mA量程精度是±(0.15% + 偏移*4)。對于1A量程，精度是±(1.5% + 偏移*8)。
5. 僅用于后面板三同軸連接。

電阻測量精度（本地或程控檢測）2,3

溫度系數(0°–18°C及28°–50°C): ±(0.15 × 精度規范) /°C。 電流源模式，手動(dòng)電阻: 整體不確定性 =電流源精度 + 電壓測量精度 (4線(xiàn)程控檢測)電壓元模式，手動(dòng)電阻: 整體不確定性 =電壓源精度 + 電流測量精度 (4線(xiàn)程控檢測)保護輸出阻抗: 0.5Ω(直流)，在電阻模式。

6. 僅手動(dòng)電阻。
7. 支持源回讀。啟用偏移補償。
8. 保證所有規范，輸出開(kāi)啟。

工作特性

最大輸出功率：20W，4象限源或阱操作。
源限度：V源: ±2 1V (≤ 1A量程), ±210V (≤ 100mA量程)
I源: ±1.05A (≤ 20V量程), ±105mA (≤ 200V量程)
過(guò)量程： 105%量程，源和測量
穩壓：電壓: 線(xiàn)路: 0.01% 量程。負載: 0.01% 量程 + 100μV.
電流: 線(xiàn)路: 0.01%量程。負載: 0.01%量程 + 100pA.
源限度：電壓源 電流限制: 利用單值設置雙極電流限幅。最小值，10%量程。
電流源電壓限制: 利用單值設置雙極電壓限幅。最小值，10%量程。
電壓限幅/電流限幅準確度： 在基本規范上增加0.3%設置值±0.02%讀數
電壓過(guò)沖： 電壓源:<0.1%典型值 (滿(mǎn)刻度階躍, 電阻載荷, 20V量程, 10mA電流限幅)
電流源:<0.1%典型值(1mA階躍, R負載 = 10kΩ, 20V 量程)
量程變化過(guò)沖： 過(guò)沖進(jìn)一個(gè)100kΩ的全電阻載荷，10Hz～20MHz帶寬，毗鄰范圍: 250mV典型值。
輸出建立時(shí)間：達到終值 0.1%所需的時(shí)間，20V量程，100mA電流限幅:<200μs 典型值。
最大斜率：0.2V/μs，200V量程，100mA限幅，2kΩ負載(典型值)
過(guò)壓保護：用戶(hù)可選擇數值, 5%容限。工廠(chǎng)默認值 = 無(wú)。
電壓源： 噪 聲10H z–1MHz (有效值): 2mV典型值至電阻負載。
最大斜率：0.2V/μs.
過(guò)壓保護：用戶(hù)可選擇數值, 5%容限。工廠(chǎng)默認值 = 無(wú)。
輸出建立時(shí)間：達到終值 0.1%所需的時(shí)間，20V量程，100mA電流限幅:<200μs 典型值。
共模電壓：250V直流
共模隔離度： >1GΩ，<1000 pF
噪聲抑制(典型值)：

* 不包括兩個(gè)最低的電流量程～90dB

負載阻抗：20nF典 型值(標準)。穩定至50μF典型值 (大電容模式)。
對于≥100μA量程, ≥200mV量程，大電容模式有效。
應力和檢測端之間的最大電壓降： 5V
檢測引線(xiàn)最大電阻： 1MΩ,額定精度
檢測輸入阻抗：>10GΩ
保護偏移電壓：<300μV, 典型值

系統測量速度9

讀取速度(讀數/秒)，60Hz (50Hz)典型值

編程腳本(TSP)

SCPI編程10

9. 讀取速度適用于電壓或電流測量、自動(dòng)歸零、自動(dòng)量程關(guān)閉、濾掉、二進(jìn)制閱讀格式、源回讀關(guān)閉。
10. SCPI編程模式。速度不適合SCPI 2400模式。

公共指標（默認模式， 除非特別說(shuō)明）

工廠(chǎng)默認標準上電：SCPI 模式。
源輸出模式：固定直流電平，存儲器/配置清單(混合功能)，
Stair (線(xiàn)性與對數)。
源存儲清單：100點(diǎn)（最大值）(僅2400 SCPI模式)。
內存緩沖：>250,000讀數。包括選定的測量值和時(shí)間戳。
實(shí)時(shí)時(shí)鐘：鋰電池備份(3年+電池壽命)。
程控接口：
GPIB: 與IEEE-488.1兼容，支持IEEE-488.2公共指令和狀態(tài) 模型拓撲。
USB器件(后面板 ，B型): 2.0全速USBTMC
USB器件(前面板，A型): USB 2.0，支持閃存驅動(dòng)器，FAT32
以太網(wǎng): RJ-45 (10/100BT)
可編程性：SCPI或TSP指令集
TSP模式：通過(guò)任何主機接口，訪(fǎng)問(wèn)嵌入式測試腳本處理器(TSP)。
IP配置：Static或DHCP
擴展接口：TSP-Link 擴展接口允許TSP支撐儀器的觸發(fā)和彼此通信。
符合LXI標準： 1.4 LXI Core 2011
顯示：5英 寸電容，彩色TFT WVGA (800x480) ，LED背光源。
輸入信號連接：前面板: 香蕉插孔 后面板: 三軸同軸連接(3-Lug)
互鎖：有源高 輸入
數字I/O接口：
線(xiàn)路: 用戶(hù)定義的6輸入/輸出，用于數字I/O或觸發(fā)
連接器: 9-針母D型接口
輸入信號電平: 0.7 V (最大邏輯低電平), 3.7 V (最小邏輯高電平)
輸入電壓限幅: -0.25 V (絕對最小值), +5.25 V (絕對最大值)
最大源電流: +2.0 mA @ >2.7 V (每引腳)
最大阱電流: -50 mA @ 0.7 V (每引腳，固態(tài)熔斷保護)
5 V電源引腳: 限定在500 mA @ >4V (固態(tài)熔斷保護)
夾具: 用戶(hù)定義測試啟動(dòng)、測試結束，4個(gè)類(lèi)別位
制冷：強風(fēng)，變速。
過(guò)溫保護：內部檢測到溫度超載時(shí)，將使設備處于待機模式。
電源：100V～240V有效值，50–60Hz (自動(dòng)檢測上電)。
VA額定值：190伏安，最大值。
高度：最高海拔2000米。
電磁兼容（EMC）：符合歐盟電磁兼容指令
安全：通過(guò)美國國家認可測試實(shí)驗室（NRTL）UL61010-1與UL61010
-2-30認證。符合歐盟低壓指令。
震動(dòng)：MIL-PRF-28800F Class 3 Random。
預熱：1小時(shí)至額定準確度。
尺寸：(含手柄和減震器): 106mm高 × 255mm寬 × 425mm長(cháng)(4.18 in × 10.05 in × 16.75 in)。(不含手柄和減震器)：88mm高× 213mm寬 × 403mm長(cháng) (3.46 in × 8.39 in × 15.87 in)。
重量：含手柄和減震器: 4.04 kg (8.9 lbs.)。不含手柄和減震器：3.58 kg (7.9 lbs.)。
環(huán)境：工作: 0°C～50°C, 70% R.H.高達35°C。在35°C～50°C，下降3% R.H./°C。存儲: –25°C～65°C。
供應附件：測試引線(xiàn)、USB電纜、以太網(wǎng)/TSP電纜、互鎖適配器、電源線(xiàn)、快速啟動(dòng)指南、用戶(hù)手冊光盤(pán)。

2460型大電流數字源表?源測量單元（SMU）儀器為 您帶來(lái)先進(jìn)的Touch, Test, Invent?（觸摸、測試、發(fā)明） 技術(shù)。它采用創(chuàng )新的圖形用戶(hù)界面(GUI)和電容觸摸屏技 術(shù)，不僅使測試直覺(jué)，而且實(shí)現學(xué)習曲線(xiàn)最小化，幫助工 程師和科學(xué)家更迅速學(xué)習、更聰明工作、更容易發(fā)明。 2460型儀器具有7A直流和脈沖電流能力，已為高功率材 料、器件和模塊特性分析和測試而優(yōu)化，如碳化硅 (SiC)、 氮化鎵(GaN)、DC-DC轉換器、功率MOSFET、太陽(yáng)電池 和面板、LED與照明系統、電化學(xué)電池與電池組，等等。 這些新的能力加上吉時(shí)利數十年開(kāi)發(fā)高精密、高精度源測 量單元（SMU）儀器的專(zhuān)長(cháng)，使得2460型儀器成為未來(lái) 實(shí)驗室和機架大電流應用的重要儀器。

主要特性：

• 在一個(gè)緊湊儀器內集成了分析儀、 曲線(xiàn)追蹤儀和I-V系統等多種能力， 成本更低

• 動(dòng)態(tài)范圍寬，105V, 7A DC/7A 脈沖, 100W（最大值）

• 5英寸、高分辨率、電容觸摸屏圖 形用戶(hù)界面(GUI)

• 基本測量準確度0.012%，6位半 數字分辨率

• 源和阱(4象限)操作

• 4個(gè)“Quickset”模式，用于快速設 置和測量

• 背景敏感的幫助功能

• 前面板輸入香蕉插孔；后面板集 體輸入螺絲連接

• 2460 SCPI與TSP?腳本編程模式

• 前面板USB 2.0存儲器I/O端口， 用于傳輸數據、測試腳本或測試 配置

更迅速學(xué)習、更聰明工作、更容易發(fā)明

2460型儀器采用5英寸、全彩色、高分辨率觸摸屏，支持直觀(guān)操作，幫助 操作人員迅速熟悉儀器，優(yōu)化整體速度和生產(chǎn)率?；诠鈽说暮?jiǎn)單菜單結構， 使測試配置所需步驟減少50%，而且省去軟鍵儀器普遍使用的繁瑣的多層菜單 結構。內建的背景敏感的幫助功能，支持直觀(guān)操作，并把瀏覽單獨菜單的需求 降為最少。這些特性以及2460型儀器的多功能性，簡(jiǎn)化了其在基礎測量和先進(jìn) 測量應用中的操作，無(wú)論用戶(hù)是否具有使用源測量單元（SMU）儀器的工作經(jīng)驗。

2460型儀器主界面

2460型儀器基于光標的菜單結構，可以幫助 新用戶(hù)迅速和自信地配置測試。

一體化源測量單元（SMU）儀器

2460型儀器基于獲獎的第四代 源測量單元（SMU）平臺，并充分 利用已被證明的吉時(shí)利大電流源測 量單元（SMU）儀器（包括2420、 2425和2440型儀器）的能力。該儀 器可提供高度靈活的4象限電壓和電 流源/負載，適合高精密電壓和電流 測量。這款一體化源測量單元（SMU） 儀器可以用作：

2460型儀器功率包絡(luò )

• 高精密電源，具有V和I回讀功能

• 真正的電流源

• 數字多用表(數字電壓計、數字電 流計、電阻計和功率計，具有6位 半分辨率)

• 高精度電子負載

• 觸發(fā)控制器

易用性超越觸摸屏

除了采用先進(jìn)的觸摸屏，2460型儀器的前面板還提供改進(jìn)速度、用戶(hù)友好性 和可學(xué)習性的諸多特性，包括USB 2.0存儲器I/O端口、HELP鍵、旋轉導航/控制 旋鈕、前面板/后面板輸入選擇按鈕、適合基本臺式應用的香蕉插孔。USB 2.0存 儲器端口簡(jiǎn)化存儲測試結果和儀器配置，將測試腳本上傳至儀器，以及安裝系統 升級。前面板的所有按鈕都采用背光，提高了低照環(huán)境下的可視性。

2460型儀器的高分辨率、電容觸摸屏和前面板控制允許直觀(guān)操作，即使新用戶(hù)也感到易用。

4種“Quickset”模式簡(jiǎn)化了一起設置。 只需輕輕一觸，就可以為不同工作模式 快速配置儀器，無(wú)需為這個(gè)操作進(jìn)行間 接配置。

一觸Quickset模式加速測量設置，把測量時(shí)間 降到最短。

全面的內建連接性

通過(guò)2460型儀器后面板，可以接入后面板接入螺絲端子 連接器、程控控制接口(GPIB、USB 2.0與LXI/Ethernet)、 D-sub 9插針數字I/O端口(用于內部/外部觸發(fā)器信號和處理 程序控制)、儀器互鎖控制以及TSP-Link?插孔，從而簡(jiǎn)化多 臺儀器測試方案配置，并省去額外適配器附件的花銷(xiāo)。

2460型儀器后面板連接已經(jīng)優(yōu)化，以保持信號完整性，并加速系統設置

將原始數據轉化為信息

完整的繪圖窗口可以轉化原始數據，并立即顯示為有用 信息，如半導體I-V曲線(xiàn)和伏安圖。使用2460型儀器的電子表 （Sheet）瀏覽，測試數據還可以以表格形式顯示。該儀器 支持將數據輸出至電子數據表，用于進(jìn)一步分析，大大提高 研究、臺式測試、設備資格和調試的生產(chǎn)率。

TriggerFlow?構建模塊，適合儀器控制與執行

2460型儀器采用吉時(shí)利TriggerFlow觸發(fā)系統，便于用戶(hù) 對儀器執行進(jìn)行控制。TriggerFlow圖形的創(chuàng )建與流程圖繪制 基本相同，它采用4個(gè)基本的構建模塊：

• 等待 – 等待一個(gè)事件的發(fā)生，然后繼續流動(dòng)

• 分支 – 當條件滿(mǎn)足時(shí)進(jìn)行分支

• 動(dòng)作 – 啟動(dòng)儀器動(dòng)作，如測量、源、延遲、設置數字I/O等

• 通知 – 通知其他設備已發(fā)生的事件

TriggerFlow構建模塊允許創(chuàng )建觸發(fā)模型，從極簡(jiǎn)單到高度復雜的觸發(fā)模型。

利用這些構建模塊組合可以通過(guò)前面板構建TriggerFlow 模型，也可以通過(guò)發(fā)送程控命令進(jìn)行構建。有了TriggerFlow 系統，用戶(hù)可以構建各種觸發(fā)模型，包括簡(jiǎn)單觸發(fā)模型以及 多至255模塊等級的復雜觸發(fā)模型。2460型儀器還包括基本 的觸發(fā)功能，如即時(shí)/定時(shí)器/手動(dòng)觸發(fā)。

內建數據顯示、繪圖和電子數據表輸出功能， 很容易將測試結果轉化為有用信息。

無(wú)與倫比的系統集成與編程靈活性

當2460型儀器配置為多通道I-V測試系統時(shí)，嵌入式測試 腳本處理器(TSP?)允許其運行測試腳本，因此用戶(hù)可以創(chuàng )建 功能強大的測試應用，并大幅縮短開(kāi)發(fā)時(shí)間。TSP技術(shù)還提供 無(wú)需主機的通道擴展能力。吉時(shí)利的TSP-Link?通道擴展總線(xiàn) 采用100 Base T以太網(wǎng)電纜，可以在主從配置中實(shí)現多部 2460型儀器與其他TSP儀器的連接，如吉時(shí)利2450型數字源 表源測量（SMU）單元儀器、2600B系列系統數字源表源測 量（SMU）單元儀器及3700A系列開(kāi)關(guān)/多用表系統，使之作 為一個(gè)集成系統工作。每個(gè)GPIB或IP地址的TSP-Link擴展總 線(xiàn)支持32部設備，因此很容易擴展系統，滿(mǎn)足具體的應用需 求。2460型儀器還包括SCPI編程模式，可以充分利用儀器的 各種能力。

并行測試能力

2460型儀器的TSP技術(shù)支持多個(gè)器件并行測試，可以滿(mǎn) 足器件研究、先進(jìn)半導體實(shí)驗室應用級高吞吐生產(chǎn)測試需求。 這個(gè)并行測試能力允許系統中的每臺儀器運行其自身的完整 測試序列，建立完全的多線(xiàn)程測試環(huán)境。2460型儀器可并行 運行的測試數量與系統中儀器數量相同。

免費儀器控制啟動(dòng)軟件

2460型儀器包含KickStart儀器控制/啟動(dòng)軟件，使用戶(hù)無(wú) 需編程即可在數分鐘內開(kāi)始測試。在多數情況下，用戶(hù)只需 進(jìn)行幾次快速測量，繪制數據圖表，并將數據存儲至磁盤(pán)， 以便日后在Excel等軟件環(huán)境分析數據。KickStart軟件提供以下功能:

• 儀器配置控制，以執行I-V特性分析

• X-Y繪圖、平移和縮放

• 通過(guò)電子數據表/表格瀏覽數據

• 保存和輸出數據，用于深入分析

• 保存測試設置

• 屏幕截圖

• 測試注釋

• 命令行輸入，用于發(fā)送和接收數據

• HTML幫助

• GPIB、USB 2.0、以太網(wǎng)兼容

KickStart啟動(dòng)軟件讓用戶(hù)在幾分鐘內做好測量準備。

利用現成的儀器驅動(dòng)程序簡(jiǎn)化編程

對于喜歡創(chuàng )建自己定制應用軟件的人員，可以登錄 www.tek.com.cn，下載美國國家儀器公司LabVIEWR以 及IVI-C和IVICOM驅動(dòng)程序。

電壓規格1, 2

電流規格?1, 2, 5

溫度系數 (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 × 精度指標)/°C

1. 速度 = 1 PLC。

2. 所有規格都在輸出開(kāi)啟時(shí)確保。

3. Accuracies apply to 2- and 4-wire mode when properly zeroed.

4. 6.5-digit 電壓測量 分辨率.

5. 6位半測量分辨率。

6. 使用2460-KIT螺絲端子附件時(shí)確保準確度規格。

7. 4線(xiàn)模式。

電阻測量精度(本地或源端測量)?1, 2, 3

溫度系數 (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 ×精度指標)/°C

源電流、測量電阻模式：

整體不確定性 = I源準確度 + V測量準確度 (4線(xiàn)遠端測量)

源電壓、測量電阻模式：

整體不確定性= V源準確度 + I測量準確度 (4線(xiàn)遠端測量)

1. 速度 = 1 PLC。

2. 所有規格都在輸出開(kāi)啟時(shí)確保。

3. 正確歸零后，準確度適用于2線(xiàn)和4線(xiàn)模式。 10. 6位半測量分辨率。

4. 6位半測量分辨率。

5. 支持源回讀。偏移補償開(kāi)啟。

6. 僅源電流測量電阻或源電壓測量電阻。

其他特性

最大輸出功率 — 100W, 4象限源或阱操作。

源限幅： — V源：±7.35V (≤7A量程), ±10.5V (≤5A量程), ±21V (≤4A量程), ±105V ( ≤1A量程)
I源：±7.35A (≤7V量程), ±5.25mA (≤10V量程), ±4.2A (≤20V量程), ±1.05mA (≤100V量程)

過(guò)量程 — 量程的105%，源和測量

調節 — 電壓：線(xiàn)路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100μV。
電流：線(xiàn)路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100pA。

源限幅 — 電壓源電流限幅：雙極電流限幅設置為單一值。最小值為量程的10%。
電流源：<典型值的0.1% （1mA步長(cháng), R負載 = 10kΩ, 20V量程）。

V-限幅 / I-限幅精度 — 增量為設置的0.3%以及基本指標讀數±0.02%。

過(guò)沖 — 電壓源：<典型值的0.1% （滿(mǎn)刻度步長(cháng), 電阻負載, 20V量程, 10mA I-限 幅）。
電壓源:<0.1% typical (1 mA step, RLoad = 10 kΩ, 20 V 量程).

量程變化過(guò)沖 — 量程變化過(guò)沖：對100kΩ的完全電阻負載過(guò)沖, 10Hz～20MHz帶寬，臨近量程：<250mV，典型值。

輸出建立時(shí)間 — 輸出建立時(shí)間：與最終值相差0.1%所需的時(shí)間, 20V量程, 100mA I-限幅：<200μs，典型值。

最大斜率 — 最大斜率：1V/μs，100V量程，對20kΩ負載，限幅為100mA (典型值)。0.6V/μs，20V量程，對20kΩ負載， 限幅為100mA (典型值)。

過(guò)壓保護 — 過(guò)壓保護：用戶(hù)可選擇值5% ±0.5V容限。出廠(chǎng)缺省值=無(wú)。

電壓源噪聲 — 10Hz–20MHz (RMS)：<4.5mV，針對電阻負載的典型值。

共模電壓 — 250V DC

共模隔離 — >1G Ω,<1000 pF.

噪聲抑制(典型值)：

負載阻抗 — 一般模式：20nF，典型值 。

大電容模式 — 穩定至50μF，典型值。對于≥100μA量程，大電容模式有效。

FORCE和SENSE端之間的最大電壓降：5V

測量引線(xiàn)最大電阻 — 1MΩ，針對額定精度。

測量輸入阻抗 — >10 GΩ.

保護偏移電壓 —<300 μV, 典型值

系統測量速度?1

頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數/秒) 典型值，腳本(TSP?)可編程

頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數/秒) 典型值，SCPI可編程

Model 2461 高電流 SourceMeter? 源 測量單元 (SMU) 儀器把先進(jìn)的 Touch, Test, Invent? 技術(shù)放到您的手中。它把 創(chuàng )新的圖形用戶(hù)界面(GUI)與容性觸 摸屏技術(shù)結合在一起，使測試變得異 常直觀(guān)，最大限度地縮短了學(xué)習周期， 幫助工程師和科學(xué)家學(xué)習更快速，工 作更明智，創(chuàng )造更容易。Model 2461 融合10A/1000W脈沖電流和7A/100W DC 電流功能與雙 18 位 1MS/s 模數轉 換器，并經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)優(yōu)化，可以檢定和 測試高功率材料、器件和模塊，如碳 化硅 (SiC)、氮化鎵 (GaN)、DC-DC 轉換器、電路保護裝置、太陽(yáng)能電池和電池板、 高亮度 LED 和照明系統、電化學(xué)電池和蓄電池、等等。這些新功能與吉時(shí)利在高精 度、高準確度 SMU 儀器中的專(zhuān)業(yè)知識相結合，使得 Model 2461 將在未來(lái)幾年內成 為實(shí)驗室和機架中高電流提供應用和高速測量應用的“萬(wàn)能儀器” 。

• 曲線(xiàn)分析儀和 I-V 特性分析系統

• 100V / 10A 脈沖功率 1000W

• 雙 1MS/s 模數轉換器，支持快速 采樣測量

• 5 英寸高清容性觸摸屏 GUI

• 0.012% DCV 準確度，6? 位分辨 率

• 源和阱 (4 象限 ) 操作

• 4 種“Quickset”模式，支持快速 設置和測量

• 上下文相關(guān)幫助功能

• 前面板輸入香蕉插孔；后面板平衡 螺釘連接

• SCPI和測試腳本處理程序(TSP?) 編程模式

• 前面板 USB 2.0 存儲 I/O 端口， 用來(lái)傳送數據、測試腳本或測試配置

學(xué)習更快速，工作更智能，創(chuàng )造更容易

Model 2461采用5英寸全彩高清觸摸屏，支持直觀(guān)操作，幫助操作人員迅速熟悉 儀器，優(yōu)化整體速度和生 產(chǎn)效率。簡(jiǎn)單的基于圖 標的菜單結構使配置測試 所需的步驟數量減少達 50%，消除了軟鍵儀器上 一般使用的煩瑣的多層菜 單結構。內部上下文相關(guān) 幫助操作直觀(guān)，最大限度 地減少翻閱單獨手冊的需 求。 這些特點(diǎn)與Model 2461的多功能相結合，簡(jiǎn)化了基本測量和高級測 量應用中的操作，易于使用。

Model 2461 主屏使得測試異常直觀(guān)，幫助新用戶(hù)把學(xué)習周期 縮到最短。

SMU基于圖標的圖形菜單結構幫助新用戶(hù)迅速地、自信地配 置測試。

內置雙 1MS/s 模數轉換器，捕獲待測器件特性

憑借 Model 2461 的數字化功能，捕獲和顯示待測器件操作、波形和瞬態(tài)波形變得 異常簡(jiǎn)便。兩個(gè)內置 1MS/s、18 位模數轉換器可以同時(shí)采集電壓波形和電流波形， 而不需使用單獨的儀器。數字化功能采用的 DC 電壓和電流量程與標準模數轉換器 相同。此外，電壓數字化功能采用相同的 DC 電壓 10GW 輸入阻抗，明顯降低了被 測器件 (DUT) 上的負載。

高速數字化功能可以同時(shí)捕獲和顯示電壓測量和電流測量

全內置 SMU 儀器

作為吉時(shí)利第四代源表 SMU 的成員，Model 2461 繼承和發(fā)揚原 Series 2400 源表 SMU 儀器經(jīng)過(guò)驗證的功能，如 Model 2420、2425、2430 和 2440。SMU 儀器提 供了高度靈活的四象限電壓和電流源 / 負載以及精密電壓和電流測量功能。這種全 內部?jì)x器提供了下述儀器的功能：

• 精密電源，帶有電壓和電流讀數功能

• 真實(shí)電流源

• 數字萬(wàn)用表(DCV、DCI、阻抗和功率，6-1/2 分辨率 )

• 精密電子負載

• 脈沖發(fā)生器

• 觸發(fā)控制器

Model 2461 與原來(lái)的 Model 2420、2425、2430、2440 對比

2461 功率包絡(luò )

簡(jiǎn)便易用，遠不止是觸摸屏

除了 5 英寸彩色觸摸屏外，2461 圖形源表前面板提供了多種功能，增強了速度、界面友好性和學(xué)習能力，包括一個(gè) USB 2.0 存儲 I/O 端口、一個(gè) HELP 幫助鍵、一個(gè)旋轉導航 / 控制旋鈕、一個(gè)前 / 后輸入選擇裝置按鈕以及多個(gè)用于基本臺式應用的香 蕉插座。USB 2.0 存儲端口簡(jiǎn)化了存儲測試結果和儀器配置、把測試腳本上傳到儀器中以及安裝系統升級程序的工作。所有前 面板按鈕都帶有背燈，增強了低亮度環(huán)境中的可視能力。

四種“Quickset”模式簡(jiǎn)化了儀器設置。只需輕輕觸擊，就可以迅速把儀器配置成各種工作模式，而不需為這種操作間接配置儀器。

Model 2461 的高清容性觸摸屏和前面板控件使操作非常直觀(guān)，即使對新用戶(hù)也不例外

一觸 Quickset 模式加快了測量設置速度，使測量所 需的時(shí)間達到最小

Model 2461 后面板連接為保持信號完整性和加快系統設置而優(yōu)化。

完善的內置連接功能

后面板提供了輸入連接器、遠程控制接口(GPIB、USB 2.0 和 LXI/ 以太網(wǎng) )、D-sub 9 針數字 I/O 端口 ( 用于內部 / 外部 觸發(fā)信號和處理裝置控制)、儀器互鎖控制和TSP-Link?插座， 可以簡(jiǎn)便地配置多個(gè)儀器測試解決方案，而不需要購買(mǎi)額外 的適配器附件。

把原始數據轉換成信息

全圖形繪圖窗口把原始數據轉換為有用信息，并立即顯示， 如半導體I-V曲線(xiàn)和數字化波形。觸摸屏界面支持簡(jiǎn)單的“推 拉縮放”功能，可以簡(jiǎn)便地觀(guān)察、交互和考察測量數據。通 過(guò)使用內置圖表光標，您無(wú)需PC就可以立即分析數據。所 有圖形屏幕都可以保存到 U 盤(pán)，包含在報告或日志中。通過(guò) 使用圖形 SMU 的 Sheet 視圖，還可 以以表格方式顯示測試數據。儀器 支持把數據導出到電子表格中，進(jìn) 一步進(jìn)行分析，明顯改善科研、平 臺測試、器件質(zhì)檢和調試的生產(chǎn)效 率。高性能與高度易用性相結合， 可以以前所未有的方式查看測試結果。

多種內置功能如實(shí)時(shí)圖表、繪圖、類(lèi)似示波器的光標及用于導出的數據顯示電子表格，可以簡(jiǎn)便地 把測試結果轉換成有用信息。

典型應用

特別適合對當前現代電子和器件執 行電流/電壓(I-V)檢定和功能測 試，包括：

• 功率半導體和材料

• SiC，GaN

• IGBTs，功率 MOSFETs

• HBLED

• 晶閘管

• 功率管理保護裝置

• 電信功率管理芯片組

• DC-DC 轉換器

• 金屬氧化物可變電阻器(MOV)， 瞬態(tài)電壓抑制器 (TVS)

• 電化學(xué)

• 電流循環(huán)

• 循環(huán)伏安法

• 電淀積

Model 2461 采用吉時(shí)利 TriggerFlow 觸發(fā)系統，用戶(hù)可以控 制儀器執行。TriggerFlow 對話(huà)框的創(chuàng )建方式在很大程度上與 流程圖開(kāi)發(fā)方式一致，都采用了四個(gè)基礎構件類(lèi)型：

• 等待 - 等待事件發(fā)生后繼續執行流程

• 分支 - 在滿(mǎn)足條件時(shí)執行分支

• 操作 - 在儀器中發(fā)起操作，如測量、供電、延遲、設置數 字 I/O、等等

• 通知 - 通知其他設備發(fā)生了事件

可以從前面板或通過(guò)發(fā)送遠程命令，綜合使用這些構件創(chuàng ) 建 TriggerFlow 模型。通過(guò) TriggerFlow 系統，用戶(hù)可以使 用最多 255 個(gè)模塊構建從異常簡(jiǎn)單到異常復雜的觸發(fā)模型。 Model 2461 還包括基本觸發(fā)功能，如直接觸發(fā)、定時(shí)器觸發(fā) 和手動(dòng)觸發(fā)。

泰克Keithley 2400 SourceMeter SMU 儀器

TriggerFlow 構件可以創(chuàng )建從異常簡(jiǎn)單到異常復雜的各種觸發(fā)模型

接觸檢查功能

接觸檢查功能可以在開(kāi)始自動(dòng)測試序列前，迅速簡(jiǎn)便地檢驗 連接是否正確，消除與接觸疲勞、中斷、雜質(zhì)、連接松開(kāi)或 斷開(kāi)、中繼器故障等有關(guān)的測量誤差和誤判。其中部分功能 包括：

• <100μs 檢驗和通知處理時(shí)間

• 3 種測試通過(guò) / 失敗閾值: 2?, 15?和50?

• 通過(guò) GPIB、USB 或以太網(wǎng) (LXI) 接口遠程實(shí)現

無(wú)可比擬的系統集成度和編程靈活性

在Model 2461配置成多通道I-V測試系統時(shí)，其嵌入式測 試腳本處理程序 (TSP?) 可以運行測試腳本，因此用戶(hù)可以用 明顯更少的開(kāi)發(fā)時(shí)間創(chuàng )建強大的測量應用。TSP 技術(shù)還提供 了通道擴展功能，而無(wú)需主機。吉時(shí)利 TSP-Link? 通道擴展 總線(xiàn)采用100 Base T以太網(wǎng)電纜，可以按主從配置連接多 臺圖形源表 SMUs (Model 2450, 2460, 2461) 及其他 TSP 儀 器，如吉時(shí)利 Model DMM7510 7-1/2 位圖形采樣萬(wàn)用表、 Series 2600B 系統源表 SMU 儀器和 Series 3700A 交換機 / 多表系統，并作為一個(gè)綜合系統操作。TSP-Link 擴展總線(xiàn)每 個(gè)GPIB或IP地址支持最多32臺儀器，可以簡(jiǎn)便地實(shí)現系 統擴容，滿(mǎn)足應用的特定要求。Model 2461 還包括 SCPI 編 程模式，可以全面利用儀器的所有功能。

并行測試功能

Model 2461中的TSP技術(shù)支持并行測試多個(gè)器件，滿(mǎn)足器 件科研、高級半導體實(shí)驗室應用、甚至高吞吐量生產(chǎn)測試的 需求。這種并行測試功能允許系統中每臺儀器運行自己的整 個(gè)測試序列，創(chuàng )建完全多線(xiàn)程的測試環(huán)境。圖形化源表上可 以并行運行的測試線(xiàn)程數量與系統中的儀器數量一致。

免費儀器控制啟動(dòng)軟件

KickStart 儀器控制 / 啟動(dòng)軟件適用于 Model 2461，用戶(hù)無(wú)需編程，就可以在幾分 鐘內開(kāi)始獲取測量數據。在大多數情況下，用戶(hù)只需進(jìn)行某些快速測量，就可以繪 制數據圖表，把數據存儲到磁盤(pán)中，以后在 Excel 等軟件環(huán)境中進(jìn)行分析。KickStart 提供了：

• 儀器配置控制功能，執行 I-V 特性分析

• 原生 X-Y 圖表、卷動(dòng)和縮放功能

• 數據的電子表格 / 表格視圖

• 保存和導出數據，進(jìn)一步進(jìn)行分析

• 保存測試設置

• 圖表截屏

• 測試注釋

• 發(fā)送和接收數據的命令行對話(huà)框

• HTML 幫助

• GPIB、USB 2.0、以太網(wǎng)一致性測試

通過(guò) KickStart 啟動(dòng)軟件，用戶(hù)可以在幾分鐘內獲得測量數據

隨時(shí)可以使用的儀器驅動(dòng)程序，簡(jiǎn)化編程工作

電壓指標?1, 2

分辨率

測量輸入電阻：>10GW，所有量程。
溫度系數：±(0.10 × 準確度指標 )/℃，0° ~ 18℃和 28° ~ 50℃。

電流指標?1, 2, 6

輸入端壓降 8：<100mV，所有量程。

溫度系數：±(0.10 × 準確度指標 )/℃，0° ~ 18℃和 28° ~ 5℃。

1. 速度 = 1 PLC。
2. 所有指標均為輸出打開(kāi)時(shí)有保障的指標。
3. 在正確清零時(shí)，準確度適用于 2 線(xiàn)和 4 線(xiàn)模式。
4. 6.5 位測量分辨率。模數轉換器的分辨率受到噪聲限制。
5. 18 位 ADC。1ms 間隔平均獲得 1000 個(gè)樣點(diǎn)。內部溫度在 ±5℃以?xún)?，ACAL 一周。
6. 在使用 Model 2461 的 Model 2460-KIT 螺絲端子附件時(shí)有保障的準確度指標。
7. 10A 量程 DC 指標最高適用于 7.35A。>7.35A 的操作只適用于脈沖模式。適用于脈沖寬度和占空比極限。如需進(jìn)一步了解脈沖操作，請參閱脈沖指標和典型脈沖性能部分。
8. 4 線(xiàn)模式。

?

電阻測量準確度 ( 本地或遠程傳感 )?9, 10, 11

提供電流、測量電阻模式：總不確定度 = 電流 提供準確度 + 電壓測量準確度 (4 線(xiàn)遠程傳 感 )。

溫度系數 (0° -18℃和 28° -50℃ )：±(0.10 × 精度指標 )/℃。

9. 速度 = 1 PLC。
10. 所有指標均為輸出打開(kāi)時(shí)有保障的指標。
11. 在正確清零時(shí)，準確度適用于 2 線(xiàn)和 4 線(xiàn)模式。
12. 6.5 位測量分辨率。
13. 啟用供電讀數功能。偏置補償打開(kāi)。
14. 僅提供電流、測量電阻或提供電壓、測量電阻

其他脈沖模式輸出指標

最小可編程脈沖寬度：150ms。
注：穩定和 / 或測量時(shí)間可能 會(huì )長(cháng)于 150ms。
最大擴展范圍脈沖寬度：7A 及以下量程為 2.5ms，10A 量程 為 1ms。
最大 DC 脈沖寬度：10,000 秒。
脈沖寬度編程分辨率：可變，受到脈沖寬度和脈沖寬度抖動(dòng) 限制。
脈沖寬度抖動(dòng)：<(50ms + 脈沖寬度的 10%)，典型值， Acquire Readings = OFF。
最大脈沖占空比：20V及以下量程為10%，100V量程為5%。

典型脈沖性能 ( 最佳固定量程，4W 連接 )

?

接觸檢查

接觸檢查速度：檢驗和通知<100ms

模數轉換器特點(diǎn)

最大分辨率 : 18 位。
提供的測量功能：電壓測量，電流測量，同時(shí)測量電壓和電流， 電阻測量，功率測量。
采樣率 15：可編程，1000~1M 樣點(diǎn) / 秒。
易失性采樣存儲器，帶時(shí)間標記：27.5 M。
最小記錄時(shí)間：1ms。
時(shí)間標記分辨率：標準或全存儲模式1ns，緊湊存儲模式 1ms。
最大記錄長(cháng)度：5 M。
量程選擇：模數轉換器測量要求固定量程。
測量穩定時(shí)間：取決于量程和負載。
對10mA及以下電流范圍， 準確度受到穩定時(shí)間限制。

補充特點(diǎn)

最大輸出功率：1050W 脈沖，105W DC，四象限供電和接 收操作。
過(guò)量程：量程的 105%，供電和測量。 穩定：電壓：工頻：量程的 0.01%。
負載：量程的 0.01% + 100mV。 電流：工頻：量程的 0.01%。
負載：量程的 0.01% + 100pA。
供電極限： 電壓源電流極限：雙極電流極限用一個(gè)值設置，最低為量程 的 10%。
電流源電壓極限：雙極電壓極限用一個(gè)值設置，最低為量程 的 10%。
V/I極限準確度：在基本指標中增加讀數的 0.3% 和 ± 讀數 的 0.02%。
過(guò)沖： 電壓供電：<0.1% 典型值。
步長(cháng) = 滿(mǎn)刻度，阻性負載，20V 量程，10mA 電流極限 )。
電流供電：<0.1% 典型值。
步長(cháng) = 1mA 步進(jìn)，阻性負載 = 10kW，20V 量程 )
量程變化過(guò)沖：過(guò)沖到全阻性 100kW 負載，10Hz ~ 20MHz 帶寬，相鄰量程：<250mV 典型值。
輸出穩定時(shí)間：要求時(shí)間達到最終值的0.1%以?xún)龋?0 V量程， 100 mA 電流極限：<200ms 典型值。
最大轉換速率 : 1V/ms，100V 量程， 100mA 極限，20kW 負 載(典型值)。
0.6V/ms，20V量程，100mA極限，20kW負載(典 型值 )。
過(guò)壓保護：用戶(hù)可以選擇值，5% ±0.5V 容限。
出廠(chǎng)默認值 為“none“( 無(wú) )。
電壓供電噪聲：10Hz ~ 20MHz (RMS)：<4.5mV 典型值，阻 性負載。
共模電壓：250V DC。
共模隔離度：>1GW，<1000pF。 噪聲抑制 ( 典型值 )：

負載阻抗 : 普通模式：
20nF 典型值。
高電容模式：穩定到50μF典型值。
高電容模式適用于 ≥ 100μA 量程。
Force 端與 Sense 端之間最大電壓：5V。
輸出線(xiàn)上壓降：1V。
最大線(xiàn)上電阻：對額定準確度為 1MW。
Sense 輸入阻抗：>10GW。
保護偏置電壓：<300mV 典型值。

系統測量速度16

60Hz (50Hz)、腳本 (TSP?) 編程的讀取速率（每秒讀數）。 ?

模數轉換，典型值

SCPI 編程，緩沖器為緊湊式

60Hz (50Hz)、SCPI 編程的讀取速率（每秒讀數）

16. 讀取速率適用于電壓或電流測量、自動(dòng)清零關(guān)、自動(dòng)量程關(guān)、濾波關(guān)、二進(jìn)制讀數格式和供電讀數關(guān)

整體特點(diǎn) ( 除另外指明外，均為默認模式 )

出廠(chǎng)默認標準開(kāi)機：SCPI 模式。
源輸出模式：固定DC電平，存儲/配置列表(混合功能)，掃描(線(xiàn) 性和對數 )，掃描 ( 雙線(xiàn)性和雙對數 )。
存儲緩沖器：>2 M讀數，用戶(hù)可以調節。
包括選定實(shí)測值和時(shí)間 標記。
實(shí)時(shí)時(shí)鐘：鋰電池備份 (3 年 + 電池壽命 )。
遠程接口： GPIB：IEEE-488.2。
USB 設備 ( 后面板，B 型 )：2.0 全速 USBTMC。
USB 設備 ( 前面板，A 型 )：USB 2.0，支持 U 盤(pán)。
以太網(wǎng) : RJ-45 (10/100BT)。
數字 I/O 接口： 線(xiàn)路：6 個(gè)輸入 / 輸出，用戶(hù)自定義。
用于數字 I/O 或觸發(fā)。 連接器：9 針插孔 D。
輸入信號電平：0.7V ( 最大邏輯值低 )，3.7V ( 最小邏輯值高 )。
輸入電壓極限：-0.25V (絕對最小值)，+5.25V (絕對最大值)。
最大供電電流：+2.0mA @ >2.7V ( 每針 )。
最大接收電流：-50mA @ 0.7V ( 每針，固態(tài)保險保護 )。
5V 電源引腳：限于 500mA @ >4V ( 固態(tài)保險保護 )。
處理器接口：測試開(kāi)始，測試結束，4 種分類(lèi)位。
編程能力：SCPI 或 TSP 命令集。
TSP 模式：可以從任何主機接口訪(fǎng)問(wèn)嵌入式測試腳本處理程序 (TSP)。
IP 配置：靜態(tài)或 DHCP。
擴展接口：TSP-Link擴展接口使支持TSP的儀器能夠觸發(fā)及相互 通信。
源輸出模式：固定DC電平，存儲/配置列表(混合功能)，掃描(線(xiàn) 性和對數 )，掃描 ( 雙線(xiàn)性和雙對數 )。
存儲緩沖器：>2 M讀數，用戶(hù)可以調節。
包括選定實(shí)測值和時(shí)間 標記。
實(shí)時(shí)時(shí)鐘：鋰電池備份 (3 年 + 電池壽命 )。
遠程接口： GPIB：IEEE-488.2。
USB 設備 ( 后面板，B 型 )：2.0 全速 USBTMC。
USB 設備 ( 前面板，A 型 )：USB 2.0，支持 U 盤(pán)。
以太網(wǎng) : RJ-45 (10/100BT)。
數字 I/O 接口： 線(xiàn)路：6 個(gè)輸入 / 輸出，用戶(hù)自定義。
用于數字 I/O 或觸發(fā)。 連接器：9 針插孔 D。
輸入信號電平：0.7V ( 最大邏輯值低 )，3.7V ( 最小邏輯值高 )。
輸入電壓極限：-0.25V (絕對最小值)，+5.25V (絕對最大值)。
最大供電電流：+2.0mA @ >2.7V ( 每針 )。
最大接收電流：-50mA @ 0.7V ( 每針，固態(tài)保險保護 )。
5V 電源引腳：限于 500mA @ >4V ( 固態(tài)保險保護 )。
處理器接口：測試開(kāi)始，測試結束，4 種分類(lèi)位。
編程能力：SCPI 或 TSP 命令集。
TSP 模式：可以從任何主機接口訪(fǎng)問(wèn)嵌入式測試腳本處理程序 (TSP)。 IP 配置：靜態(tài)或 DHCP。
擴展接口：TSP-Link擴展接口使支持TSP的儀器能夠觸發(fā)及相互 通信。
LXI 標準：1.4 LXI Core 2011。
顯示器：5 英寸容性觸摸屏彩色 TFT WVGA (800×480)，帶有 LED 背燈。
輸入信號連接：前面：香蕉。
后面：螺絲端子。 互鎖：有源高輸入。
冷卻：強制通風(fēng)，變速。
過(guò)熱保護：內部傳感到溫度過(guò)載時(shí)會(huì )把儀器置于待機模式。
電源：100V ~ 240V RMS，50-60Hz ( 開(kāi)機自檢 )。
VA 額定值：最大 350 VA。
高度：最高海拔 2000 米 (6562 英尺 )。
EMC：滿(mǎn)足歐盟 EMC 指令。
安全：滿(mǎn)足 CE 和 NRTL 的 UL61010-1 和 UL61010-2-30 清單。
滿(mǎn)足歐盟低壓指令。
振動(dòng)：MIL-PRF-28800F Class 3 隨機振動(dòng)。
預熱：預熱一小時(shí)達到額定準確度。
外觀(guān)尺寸： 含把手和保險杠時(shí)：106mm 高 × 255mm 寬 × 425mm 深 (4.18 英寸 × 10.05 英寸 × 16.75 英寸 )。
不含把手和保險杠時(shí)：88mm 高 × 213mm 寬 × 397mm 深 (3.46 英寸 × 8.39 英寸 × 15.63 英寸 )。
重量：含保險杠和把手時(shí)：4.75 公斤 (10.5 磅 )。
不含保險杠和把手時(shí)：4.55 公斤 (10.0 磅 )。
環(huán)境：工作時(shí)：0°-50℃, 70%相對濕度，最高35℃。
相對濕度 額定值每℃下降3%，35°-50℃，無(wú)冷凝。
貯存時(shí)：-25℃- 65℃。

泰克Keithley 2400 SourceMeter SMU 儀器